微机械的压力传感器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104204755A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201380019457.0

    申请日:2013-03-05

    Inventor: C.舍林 R.哈斯

    CPC classification number: G01L13/026 G01L19/0618

    Abstract: 本发明涉及一种具有高动态的测量区域的微机械的压力传感器。该压力传感器具有两个压力敏感的、闭合的传感器薄膜,其中,两个传感器薄膜中的每一个传感器薄膜可以耦接到一自身的压力贮存器上;还具有一布置在传感器薄膜之间的止挡装置,该止挡装置具有下列元件:一锚固元件,用于将止挡装置锚固在传感器薄膜中的至少一个传感器薄膜上;至少一个将两个传感器薄膜基本上刚性连接的耦接元件;多个支撑元件,传感器薄膜中的一个传感器薄膜在定义的几何上的偏移的情况下能与支撑元件接触;以及一密封元件,用于密封止挡装置。通过两个传感器薄膜的基本上刚性的耦接,有利地取消了单个的绝对压力值的相减。

Patent Agency Ranking