公开(公告)号：CN100405633C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200410055016.9

申请日：2004-05-31

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 横山诚一 ,  大和田拓央 ,  石川典夫

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/52 ,  G09F9/35 ,  H01L23/48

CPC classification number: G02F1/13439 ,  G02F1/133553 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/322 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/5218 ,  H01L51/5228 ,  H01L51/5234 ,  H01L51/5243 ,  H01L51/5246 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/5265 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/5315

Abstract: 本发明提供一种制造叠层结构的方法，其能够通过防止侧面蚀刻构图成所需形状。将由ITO等制成的粘接层、由银或含银合金制成的反射层、由ITO等制成的阻挡层依次层叠在基材上，其间具有作为基底层的平面化层，之后，在阻挡层上形成掩模，并利用该掩模同时蚀刻粘接层、反射层和阻挡层，以形成叠层结构。作为蚀刻气体的实例，优选包含甲烷(CH4)的气体。该叠层结构用作阳极，并在叠层结构上依次层叠绝缘膜、包括发光层的有机层和作为阴极的公共电极，以便形成有机发光器件。该叠层结构可以用作液晶显示器的反射电极、反射膜或配线。

公开(公告)号：CN1575063A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410068444.5

申请日：2004-05-28

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 横山诚一

IPC: H05B33/12 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/00 ,  G09F9/35 ,  H01L23/48

CPC classification number: H01L51/5218 ,  G02F1/133555 ,  G02F1/13439 ,  G02F1/136209 ,  G02F2001/136295 ,  G02F2203/02 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/3258 ,  H01L27/3276 ,  H01L51/5203 ,  H01L51/5209 ,  H01L51/5234 ,  H01L51/5271 ,  H01L51/56 ,  H01L2227/323 ,  Y10T428/24612

Abstract: 本发明提供一种能通过阻止绝缘膜的沉积失败或成孔来减小缺陷的层叠结构、其制造方法和一种显示单元。所述层叠结构作为有机发光元件的阳极提供在基板的平坦表面上。在所述层叠结构中，由ITO制成的粘合层、由银或含银合金制成的反射电极和由ITO制成的阻挡层依照这个顺序从所述基板侧层叠。在层叠方向上，所述层叠结构的横截面形状是一个向前的锥形形状。所述的粘合层、反射层和阻挡层的侧壁面被绝缘膜完全地覆盖，阻止了所述绝缘膜的沉积失败或成孔。由所述侧壁面和所述平表面构成的锥度角优选从10°到70°。所述层叠结构可以用作液晶显示器的反射电极、反射膜或配线。