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公开(公告)号:CN101436642A
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200810181471.1
申请日:2008-11-14
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , G01P3/44
Abstract: 本发明提供压电特性和耐热性优良的压电元件、角速度传感器以及压电元件的制造方法。压电元件包括压电膜和电极膜。压电膜由Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成,其中,X大于等于0且小于等于0.3,Y大于等于0且小于等于0.55,压电膜具有拉伸应力。电极膜将电压施加给压电膜。