公开(公告)号：CN101714371A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910179414.4

申请日：2009-10-09

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 增原慎 ,  中冲有克 ,  山崎刚 ,  行本智美

IPC: G11B7/26 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C45/263 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0017 ,  G11B7/1374 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/261 ,  G11B7/263 ,  G11B2007/13727

Abstract: 本发明涉及制造母盘的方法以及制造光盘的方法。一种制造母盘的方法包括以下步骤：在母盘形成衬底上形成无机抗蚀剂层，在无机抗蚀剂层的表面形成含有高折射率材料的保护薄膜以形成无机抗蚀剂母盘，其中高折射率材料的折射率n满足n≥曝光光学系统的NA，并且高折射率材料混合在光透过材料中；使用曝光光学系统从保护薄膜上方在无机抗蚀剂母盘上执行NA＞1的近场曝光；将保护薄膜从经受了曝光的无机抗蚀剂母盘上分离；通过对分离了保护薄膜的无机抗蚀剂母盘的显影，形成包括曝光部分和未曝光部分的突起/凹陷图案。

公开(公告)号：CN100399441C

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200610079176.6

申请日：2006-05-12

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 齐藤公博 ,  山崎刚 ,  中冲有克

IPC: G11B7/125 ,  G11B7/135

Abstract: 本发明提供了一种光学记录介质，被来自光源的光作为近场光使用数值孔径超过1的聚焦透镜进行照射来执行记录和/或再生，其中，折射率高于透光材料部分的高折射率材料部分与透光材料部分混合得到的复合层设置在光学记录介质的光入射侧的表面上。由于复合层的平均折射率较高，因而可以使由表面层的折射率控制的数值孔径变大，从而获得高分辨率和抵抗与透镜等接触的耐久性。