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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1289926C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410056345.5
申请日：2004-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。
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公开(公告)号：CN101004476B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200710002043.3
申请日：2007-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村亮介
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。
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公开(公告)号：CN101004477A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710002045.2
申请日：2007-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村亮介
Abstract: 本发明的目的在于提供在降低驱动电压的同时具有优越的光学特性的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)具备隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置且固定地设置在固定部上的第一电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于固定反射膜(35)相反侧的面对置且相对固定部固定地设置的第二电极(43)，第一电极(33)及第二电极(43)中，一电极作为用于检测与可动部(21)之间的静电电容的检测电极而发挥功能，另一电极作为用于在与可动部(21)之间产生电位差，由此在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化的驱动电极而发挥功能。
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公开(公告)号：CN101004476A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710002043.3
申请日：2007-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村亮介
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。
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公开(公告)号：CN1289927C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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