公开(公告)号：CN1263091C

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200310100712.2

申请日：2003-10-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高木宪一 ,  十河智彦 ,  齐藤祐司

IPC: H01L21/00

CPC classification number: G02B5/201 ,  G02F1/133516 ,  H01L21/288 ,  H01L27/3246 ,  H01L51/0003

Abstract: 本发明为一种微细构造物的制造方法，其特征是：在要形成所需图案的基板(10)的被处理面上设置亲液膜(11)，在亲液膜(11)的上表面上，设置对成为形成所述图案的部件的液体材料具有斥液性的斥液膜(12)，除去斥液膜(12)中位于要形成所述图案的区域上的部分。从而可在使用液体材料形成所需图案时，高速并且良好地形成所需图案。另外，本发明还提供一种采用该微细构造物的制造方法制造的光学元件、集成电路和电子仪器。

公开(公告)号：CN1499259A

公开(公告)日：2004-05-26

申请号：CN200310102553.X

申请日：2003-10-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高木宪一 ,  十河智彦 ,  齐藤祐司

IPC: G02F1/1335 ,  G02B1/10 ,  G09F9/35

CPC classification number: G02F1/1333 ,  G02F1/1337 ,  G02F2001/133519 ,  G02F2201/48 ,  Y10T428/31504

Abstract: 本发明提供一种器件及其制造方法、具有该器件的电子仪器。在基板(23、24)上形成了底层要素的基体的底层要素上，形成了功能性膜(36、38、40)的器件(20)。在底层要素上设置对于用于形成功能性膜(36、38、40)的液态形成材料具有亲液性的亲液膜(15、16、17)，在这些亲液膜(15、16、17)上设置有功能性膜(36、38、40)。由此，可使形成在底层要素上的功能性膜平坦并且厚度均匀，提高功能性膜的性能。