公开(公告)号：CN102902061B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201210418067.8

申请日：2009-12-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 花村雄基 ,  舟川刚夫 ,  船坂司

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B5/284

Abstract: 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

公开(公告)号：CN102354047B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201110282403.6

申请日：2009-12-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 花村雄基 ,  舟川刚夫 ,  船坂司

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B5/284

Abstract: 本发明提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

公开(公告)号：CN101900877B

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201010188264.6

申请日：2010-05-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 广久保望 ,  船坂司

IPC: G02B26/00 ,  G01N21/31

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/51

Abstract: 本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备：相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3)；在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A)；在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B)，并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。

公开(公告)号：CN102914865A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210417783.4

申请日：2009-12-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 花村雄基 ,  舟川刚夫 ,  船坂司

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B5/284

Abstract: 本发明提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

公开(公告)号：CN102354047A

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN201110282403.6

申请日：2009-12-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 花村雄基 ,  舟川刚夫 ,  船坂司

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B5/284

Abstract: 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

公开(公告)号：CN101008726A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200710003794.7

申请日：2007-01-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田口聪志 ,  樱井慎二 ,  船坂司

IPC: G02F1/133 ,  G02F1/13 ,  G06K11/06 ,  G09F9/00

CPC classification number: G02F1/13338 ,  G06F3/0436

Abstract: 本发明提供一种电光学装置，具有：电光学面板，其具有第一基板、第二基板、和配置在所述第一以及所述第二基板之间的电光学物质；第三基板，其配置在所述第二基板上；第四基板，其具有挠性，隔着隔离物配置在所述第三基板上；位置检测器，其设置于所述第三基板，基于所述第三基板的表面波的变化检测出所述第四基板的按压位置；以及树脂膜，其设置于所述第四基板，与所述第三基板相对。