公开(公告)号：CN115406481A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202210576935.9

申请日：2022-05-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田耕平 ,  清水武士

IPC: G01D21/02

Abstract: 本发明提供一种激光干涉仪，无论振动元件的振动条件如何，都能够更正确地解调来自测定对象物的多普勒信号。该激光干涉仪具备：光源，射出激光；光分割器，将从光源射出的激光分为第一光路和第二光路；光调制器，具备设置在第一光路或第二光路上、通过流过电流而振动的振动元件，并利用振动元件调制激光；受光元件，接收由设置在第一光路或第二光路上的测定对象物反射的激光，并输出受光信号；以及解调电路，基于基准信号及调制信号，从受光信号解调来自测定对象物的多普勒信号，其中在将流过正在振动的振动元件的电流的振幅值设为Iq[A]、将振动元件的振动频率设为f[Hz]时，满足Iq/f≤1×10‑7。

公开(公告)号：CN112917473A

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN202011404402.X

申请日：2020-12-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 镰仓圭 ,  山贺洋和 ,  清水武士

IPC: B25J9/16 ,  B25J13/08 ,  B25J18/00

Abstract: 光扫描装置、三维计测装置及机器人系统。提供不会使反射镜的摆动不稳定，而检测反射镜的环境的技术。光扫描装置具有MEMS基板；基板固定部，固定有MEMS基板；以及环境检测传感器，检测反射镜的环境。在从垂直于MEMS基板的表面的方向进行俯视观察时，环境检测传感器配置在与基板固定部重叠或邻接而不与MEMS基板重叠的位置。

公开(公告)号：CN104062754A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201410082930.6

申请日：2014-03-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 清水武士

IPC: G02B26/10 ,  G02B27/01 ,  G01B7/16

CPC classification number: G02B26/10 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  G02B27/0176 ,  H02K11/24

Abstract: 本发明提供光扫描仪、致动器、图像显示装置以及头戴式显示器。光扫描仪及致动器形成为在被支承为能够摆动的框体部的内侧将可动部支承为能够相对于框体部而摆动的万向架结构中，能够抑制与应变检测元件连接的布线的断线，并能够使用应变检测元件来检测可动部的动作，图像显示装置及头戴式显示器是具备上述光扫描仪的可靠性优良的装置。光扫描仪具备能够绕Y轴摆动的可动反射镜部、能够绕与Y轴交叉的X轴摆动的框体部、连接可动反射镜部与框体部的轴部、固定部、连接框体部与固定部的轴部、配置在轴部并检测轴部变形的应变检测元件、及被输入应变检测元件的检测信号输入并输出轴部的弯曲变形信号的第一信号处理部。