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公开(公告)号:CN103925936A
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:CN201410014610.7
申请日:2014-01-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 成瀬敦纪
IPC: G01D5/241
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P2015/0814
Abstract: 本发明提供一种物理量传感器,其抑制因元件片与固定电极的抵接而产生的损坏。所述物理量传感器的特征在于,具备:元件片,其包括可动锤、和从所述可动锤延伸设置的可动电极部;固定电极部,其以在所述元件片进行位移的第一方向上与所述元件片隔开间隙(d1)的方式而设置;固定部,其以与所述元件片的端部对置的方式而设置,在所述可动锤的所述端部上,在与所述固定部对置的位置处设置有凹部,在所述固定部上,设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部,所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内,并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙(d2)窄于所述间隙(d1)。