热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器

    公开(公告)号:CN102607716A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201110437941.8

    申请日:2011-12-22

    Inventor: 土屋泰

    Abstract: 本发明提供一种热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器。该热式光检测器包括:基板;支撑部件,以在所述支撑部件与基板之间形成有空腔部的方式被支撑;热检测元件,被支撑部件支撑;热传递部件,设置在热检测元件上并具备集热部和连接部,集热部由对入射的光具有光反射特性的材料构成且俯视时具有能够使向支撑部件的区域入射的光的一部分进入支撑部件侧的图案,连接部连接集热部和热检测元件;第一光吸收层,在热传递部件与热传递部件接触地形成和支撑部件之间;以及第二光吸收层,在热传递部件上与热传递部件接触地形成。

    热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器

    公开(公告)号:CN102589711A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201110436346.2

    申请日:2011-12-22

    Inventor: 土屋泰

    Abstract: 本发明提供一种热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器。该热式光检测器的特征在于,具有:基板;支撑部件,经由空腔部支撑在所述基板上;热检测元件,形成在所述支撑部件上,具有热电材料层夹在下部电极和上部电极之间的结构;光吸收层,形成在所述热检测元件上;以及热传递部件,所述热传递部件具备集热部,所述集热部通过连接部与所述热检测元件连接,具有俯视时比所述连接部大的面积,并至少对一部分波长区域的光具有光透过性且形成在所述光吸收层的内部的集热部,其中,所述下部电极具有俯视时在所述热电材料层的周围延伸的延伸部分,所述延伸部分具有反射已透过所述热传递部件的所述集热部的光中的至少一部分的光反射特性。

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