公开(公告)号：CN101004476B

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN200710002043.3

申请日：2007-01-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中村亮介

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26

CPC classification number: G02B26/001

Abstract: 本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。

公开(公告)号：CN100410723C

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200610079421.3

申请日：2006-01-28

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  思泰克株式会社

Inventor： 中村亮介 ,  郑昌镐

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部(211)的固定基板(2)；与具备具有开口部分(311)的可动部(31)的固定基板(2)接合的可动基板(3)；用于覆盖开口部分(311)并接合到可动部(31)的透光基板(4)；在固定基板(2)上设置的固定反射膜(200)；在透光基板(4)上设置的隔开干涉用间隙(21)与固定反射膜(200)相对配置的可动反射膜(210)；通过相对于固定基板(2)改变可动部(31)的位置，来改变干涉用间隙(21)的间隔的驱动部，构成为：在固定反射膜(200)和可动反射膜(210)之间重复进行反射、且可向外部发射出与干涉用间隙21的间隔相对应的波长的干涉光。

公开(公告)号：CN101004477A

公开(公告)日：2007-07-25

申请号：CN200710002045.2

申请日：2007-01-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中村亮介

IPC: G02B26/00 ,  G02B1/11

Abstract: 本发明的目的在于提供在降低驱动电压的同时具有优越的光学特性的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)具备隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置且固定地设置在固定部上的第一电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于固定反射膜(35)相反侧的面对置且相对固定部固定地设置的第二电极(43)，第一电极(33)及第二电极(43)中，一电极作为用于检测与可动部(21)之间的静电电容的检测电极而发挥功能，另一电极作为用于在与可动部(21)之间产生电位差，由此在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化的驱动电极而发挥功能。

公开(公告)号：CN101004476A

公开(公告)日：2007-07-25

申请号：CN200710002043.3

申请日：2007-01-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中村亮介

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26

CPC classification number: G02B26/001

Abstract: 本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。

公开(公告)号：CN1289927C

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：CN200410098255.2

申请日：2004-12-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中村亮介 ,  纸透真一 ,  村田昭浩 ,  与田光宏

IPC: G02B5/28 ,  G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。