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公开(公告)号：CN113048967A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110318966.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5614
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。
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公开(公告)号：CN104579225B
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201410584193.X
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03B5/32 , H03H3/0076 , H03H9/0542 , H03L1/028
Abstract: 提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件、振子能够对由温度变化引起的频率特性等特性的劣化进行抑制，振荡器、电子设备以及移动体具有较高的可靠性。本发明的振动元件的特征在于，具有驱动模式和在与该驱动模式下的振动方向正交的方向上进行振动的第一检测模式以及第二检测模式，在将横轴设为气氛温度并将纵轴设为频率的变化时的、各个模式下的表示由温度的变化引起的频率的变化的频率温度特性曲线中，将驱动模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Ta[℃]，将第一检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tb[℃]，并将第二检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tc[℃]时，Ta低于Tb及Tc，或者，Ta高于Tb及Tc。
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公开(公告)号：CN103376100B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201310146091.5
申请日：2013-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: H01L41/0475 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体。所述振动片能够维持机械强度且提高输出信号的S/N比。振动片具有基部。驱动用振动臂、检测用振动臂及调节用振动臂（63）从基部起延伸。在调节用振动臂（63）上结合有第一调节用电极（68）和第二调节用电极（69）。第一调节用电极（68）生成第一相位的电信号。第二调节用电极（69）生成与第一相位成为反相位的第二相位的电信号。通过调节用电极（68）、（69）的电信号被重叠在检测用振动臂的检测信号上，从而实现对漏泄振动成分的抵消。在第一电极片（68a）与第二电极片（68b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63），在第三电极片（69a）与第四电极片（69b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63）。
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公开(公告)号：CN106482719A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610719483.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配
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公开(公告)号：CN105987688A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610161168.X
申请日：2016-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中川啓史
IPC: G01C19/5642
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5642
Abstract: 本发明提供一种能够抑制噪声的产生、减少检测精度下降的角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。陀螺仪元件(1)具有：基部(21)；振动臂(22、23)，其与基部(21)连接；驱动用压电元件(31、32、33、34)，其被设置在振动臂(22、23)上，并以X轴同相且Z轴反相的驱动振动模式进行弯曲振动；检测用压电元件(61、62)，其被设置在振动臂(22、23)上，并对围绕检测轴的角速度进行检测，在使振动臂(22、23)以驱动振动模式进行弯曲振动的情况下，在检测用压电元件(61、62)中产生反相的信号，在使驱动臂(22、23)以驱动振动模式进行弯曲振动时施加了角速度(ωy)的情况下，在检测用压电元件(61、62)中产生同相的信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103376100A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310146091.5
申请日：2013-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: H01L41/0475 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体。所述振动片能够维持机械强度且提高输出信号的S/N比。振动片具有基部。驱动用振动臂、检测用振动臂及调节用振动臂（63）从基部起延伸。在调节用振动臂（63）上结合有第一调节用电极（68）和第二调节用电极（69）。第一调节用电极（68）生成第一相位的电信号。第二调节用电极（69）生成与第一相位成为反相位的第二相位的电信号。通过调节用电极（68）、（69）的电信号被重叠在检测用振动臂的检测信号上，从而实现对漏泄振动成分的抵消。在第一电极片（68a）与第二电极片（68b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63），在第三电极片（69a）与第四电极片（69b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63）。
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公开(公告)号：CN113048967B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202110318966.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5614
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配
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公开(公告)号：CN105987688B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201610161168.X
申请日：2016-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中川啓史
IPC: G01C19/5642
Abstract: 本发明提供一种能够抑制噪声的产生、减少检测精度下降的角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。陀螺仪元件(1)具有：基部(21)；振动臂(22、23)，其与基部(21)连接；驱动用压电元件(31、32、33、34)，其被设置在振动臂(22、23)上，并以X轴同相且Z轴反相的驱动振动模式进行弯曲振动；检测用压电元件(61、62)，其被设置在振动臂(22、23)上，并对围绕检测轴的角速度进行检测，在使振动臂(22、23)以驱动振动模式进行弯曲振动的情况下，在检测用压电元件(61、62)中产生反相的信号，在使驱动臂(22、23)以驱动振动模式进行弯曲振动时施加了角速度(ωy)的情况下，在检测用压电元件(61、62)中产生同相的信号。
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公开(公告)号：CN104075701B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201410119976.0
申请日：2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式，所述第二振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相同的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式。第二振动模式时的等效串联电阻R2相对于第一振动模式时的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1被设定在0.15～6.0之间。
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公开(公告)号：CN104949665A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510134545.6
申请日：2015-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5776 , G01P5/14
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/5614 , G01C19/5607 , G01C19/5776
Abstract: 本发明提供物理量检测电路、物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测用电路包括：滤波电路、设置于比滤波电路靠后的部分并基于驱动振动元件的驱动信号而对振动元件的输出信号所含的与物理量相应的信号进行检波的同步检波电路。滤波电路的截止频率处于振动元件的驱动模式的谐振频率与检测模式的谐振频率之间，滤波电路在通频带中含有驱动模式的谐振频率。
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