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公开(公告)号：CN206460940U
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201720091955.1
申请日：2017-01-24
Applicant: 福州大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 本实用新型公开了一种多角度的扫描电镜样品台，其包括三棱柱、两块长方体挡板、固定板、底座、固定螺钉，三棱柱起安放样品和改变样品角度的作用，三棱柱通过螺钉连接两侧的长方体挡板，挡板下方和固定板靠螺钉固定，固定板和底座靠螺钉连接，三棱柱样品台上存在若干条等距离的平行线，并在平行线前端标明序号，使用时将样品的一侧靠近平行线，保证样品在同一侧保持水平。本装置能改变样品台的角度，在同一个台子上满足形貌分析和EBSD分析，同时该样品台也能一次装载多个EBSD样品，实现一次多个样品装样同时进行EBSD表征的功能，从而提高测试效率，样品台具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广且易于测量多个样品并能改变样品台的角度的优点。
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