公开(公告)号：CN206862928U

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201720534086.5

申请日：2017-05-15

Applicant: 福州大学

Inventor： 汪炳叔 ,  刘慧敏 ,  杨容 ,  张鼎 ,  王菊荣

IPC: G01N23/22

Abstract: 本实用新型涉及一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽。该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量。

公开(公告)号：CN206460941U

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201720092546.3

申请日：2017-01-24

Applicant: 福州大学

Inventor： 汪炳叔 ,  杨容 ,  张鼎 ,  刘慧敏 ,  吴诗萍

IPC: H01J37/20

Abstract: 本实用新型涉及一种多工位扫描电镜EBSD样品台，可同时装多个样品的扫描电镜EBSD样品台，此样品台由一个底座、多个平台，一个挖槽试样台组成。底座起固定70度角的作用，平台和挖槽试样台的结合可单独控制每个样品的高度，从而实现在同一水平面上的测量，挖槽试样台侧面可测量试样另一个表面，此实用新型着重解决在进行EBSD测试时多个样品形状、大小和厚度不一样的样品表面表征的问题，且挖槽试样台与底座的配合可调节挖槽试样台的高度，即可整体调节所有样品的高度。样品台具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广、不易损坏、同时表征多个样品表面的优点。

公开(公告)号：CN206460940U

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201720091955.1

申请日：2017-01-24

Applicant: 福州大学

Inventor： 汪炳叔 ,  吴诗萍 ,  杨容 ,  张鼎 ,  刘慧敏

IPC: H01J37/20

Abstract: 本实用新型公开了一种多角度的扫描电镜样品台，其包括三棱柱、两块长方体挡板、固定板、底座、固定螺钉，三棱柱起安放样品和改变样品角度的作用，三棱柱通过螺钉连接两侧的长方体挡板，挡板下方和固定板靠螺钉固定，固定板和底座靠螺钉连接，三棱柱样品台上存在若干条等距离的平行线，并在平行线前端标明序号，使用时将样品的一侧靠近平行线，保证样品在同一侧保持水平。本装置能改变样品台的角度，在同一个台子上满足形貌分析和EBSD分析，同时该样品台也能一次装载多个EBSD样品，实现一次多个样品装样同时进行EBSD表征的功能，从而提高测试效率，样品台具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广且易于测量多个样品并能改变样品台的角度的优点。