一种制备二硫化钼溅射靶材的方法

    公开(公告)号:CN107815654A

    公开(公告)日:2018-03-20

    申请号:CN201711140433.7

    申请日:2017-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种制备二硫化钼溅射靶材的方法,该方法包括:一、将二硫化钼原料粉末进行低压压制处理,得到二硫化钼坯料;二、将二硫化钼坯料在惰性气体保护下进行球磨,得到二硫化钼粉末;三、将二硫化钼粉末装入胶套内进行冷等静压处理,得到二硫化钼成形坯料;四、将二硫化钼成形坯料装入包套中,抽真空焊封后进行热等静压烧结处理,再除去包套,得到二硫化钼靶材粗品;五、将二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗,得到二硫化钼溅射靶材。本发明采用低压压制和球磨工艺,将二硫化钼原料粉末由不规则片状结构转变为类球形颗粒状结构,提高了粉末的可压性,增强了粉末之间的结合力,改善了二硫化钼溅射靶材的质量。

    一种层状MoS2-Fe3O4纳米复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN105776349A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610144360.8

    申请日:2016-03-14

    CPC classification number: C01G49/08 C01P2002/82 C01P2004/04

    Abstract: 本发明提供了一种层状MoS2?Fe3O4纳米复合材料的制备方法,将二硫化钼粉末加入分层溶液中进行分层反应,反应完成后过滤,烘干,得到分层二硫化钼粉末;将硝酸铁与柠檬酸混合后加入水中,进行螯合反应,得到干凝胶,研磨得到干凝胶粉末;向分层二硫化钼粉末中加入干凝胶粉末和爆炸剂,进行爆炸反应,冷却至室温后取出爆炸反应产物,即得到层状MoS2?Fe3O4纳米复合材料。本发明利用芳香族硫醚的亲硫特性,降低二硫化钼原料粉末的层间范德华力,结合爆炸冲击成功对其进行分层剥离;本发明通过溶胶?凝胶法与爆炸高温冲击结合,仅用一步即完成了Fe3O4的迅速还原和MoS2的剥离,成功制备了层状MoS2/Fe3O4纳米复合材料。

    一种钼铌合金溅射靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN105441884A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201510938945.2

    申请日:2015-12-15

    CPC classification number: C23C14/3414 B22F3/162

    Abstract: 本发明公开了一种钼铌合金溅射靶材的制备方法,该方法为:一、将钼粉和铌粉置于混料机的混料罐中搅拌混合均匀,得到混合粉末;二、对混合粉末进行冷等静压,得到板坯,然后对将述板坯在真空或者氢气气氛保护条件下进行预烧结处理,得到钼铌合金预制坯料;三、将钼铌合金预制坯料表面车铣加工,然后进行热等静压,得到钼铌合金制件;四、对钼铌合金制件进行机械加工和表面磨削加工,得到钼铌合金溅射靶材。本发明制备过程简单、节约原料,且制备过程能够减少杂质元素的引入,制备得到的钼铌合金溅射靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小,理论密度可达到99%以上,氧质量含量低于500ppm,能够很好的满足作为溅射靶材的要求。

    一种含碳钼合金的烧结方法

    公开(公告)号:CN110983090B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201911408971.9

    申请日:2019-12-31

    Abstract: 本发明公开的一种含碳钼合金的烧结方法,包括以下步骤:步骤1,将高纯石墨粉与钼粉充分混合,得到混合粉体;步骤2,将混合粉体通过冷等静压压制成多孔钼碳棒压坯;步骤3,将多孔钼碳棒压坯与待烧结的含碳钼合金压坯装入加热炉的加热区,抽出加热炉体中空气,当加热炉真空度达到1Pa~10Pa时,通入工业纯氢气,按照烧结工艺曲线完成含碳钼合金的烧结。本发明烧结方法,通过均匀填充碳含量较高的多孔钼碳棒压坯,调节烧结气氛,从工业纯氢气气氛转变为氢‑碳混合气氛;同时,从加热炉顶部充入工业纯氢气,从底部排出,控制工业纯氢气的流向和流量,提高含碳钼合金坯锭精确固碳和烧结坯锭密度,避免坯体开裂。

    一种制备二硫化钼靶材的方法

    公开(公告)号:CN107916404B

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201711140436.0

    申请日:2017-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种制备二硫化钼靶材的方法,该方法包括以下步骤:一、将二硫化钼粉末进行真空低温热处理;二、将真空低温热处理后的二硫化钼粉末进行球磨处理;三、将球磨处理后的二硫化钼粉末压制成二硫化钼坯料;四、将二硫化钼坯料装入包套中,抽真空焊封后进行热等静压处理,除去包套后得到二硫化钼靶材粗品;五、将二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗,最终得到二硫化钼靶材。本发明依次对二硫化钼粉末进行真空低温热处理和球磨,提高了二硫化钼粉末的质量纯度和可压性,然后采用压制与热等静压相结合的方法,提高了二硫化钼靶材的致密性和质量纯度,降低了热等静压的成型温度和时间,同时扩大了原料的适用范围。

    一种大尺寸钼基碱金属合金靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN109735809A

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201811517633.4

    申请日:2018-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种大尺寸钼基碱金属合金靶材的制备方法,具体按照以下步骤实施:步骤1,碱金属钼酸盐粉末的预处理;步骤2,钼基碱金属合金粉末的球磨混合;步骤3,钼基碱金属合金粉末的烘干包装;步骤4,冷等静压压制成型;步骤5,热等静压压制成型。本发明的一种大尺寸钼基碱金属合金靶材的制备方法,增强了钼基碱金属合金粉末的流动性,解决了碱金属盐在混料过程中易吸水受潮出现抱团结块现象,提高了冷等静压压制成型前合金粉末的振实密度,极大的降低了钼基碱金属合金素坯的次品率。

    一种钼及钼合金的热挤压装置及其热挤压方法

    公开(公告)号:CN109127752A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201810897856.1

    申请日:2018-08-08

    Abstract: 本发明公开了一种钼及钼合金的热挤压装置,包括挤压模具,挤压模具内开有挤压通道,所挤压通道的中部收缩;挤压模具外套接有保温预热装置;还包括有立式液压机和一对翻转挤压装置,翻转挤压装置用于翻转和横向挤压挤压模具,立式液压机用于纵向挤压和加热挤压通道中的钼或钼合金。本发明还公开了一种钼及钼合金的热挤压方法,包括预热挤压模具、合模预热、挤压成型和重复挤压成型2‑5次的步骤。本发明的热挤压装置,能够三相不均匀挤压钼及钼合金,得到大体积均匀的细晶化钼及钼合金;本发明的热挤压方法,能够得到钼及钼合金成品材料组织均匀,细化程度均匀。

Patent Agency Ranking