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发明授权
一种阻变容变复合的二维应变传感器及其制备方法有权

公开(公告)号：CN110333012B

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201910671693.X

申请日：2019-07-24

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 张晓升 , 李国科 , 张新然 , 刘盾 , 鲍景富

IPC: G01L1/18 , G01L1/14 , G01L9/06 , G01L9/12

Abstract: 本发明公开了一种阻变容变复合的二维应变传感器及其制备方法，本发明提出的二维应变传感器采用平行板式电容器的上极板、绝缘电介质层、下极板三层结构设计，上下极板的导电材料选择具有微纳结构的金属、碳导电材料或者金属、碳混合导电材料，双极板图案均采用蛇形结构设计，电容器的上极板和下极板同时又作为阻变拉伸应变传感器。本发明通过容变现象检测水平方向拉伸应变，通过阻变现象检测竖直方向拉伸应变，采用阻变容变复合的形式对二维正交方向的拉伸应变进行检测，具有柔性、可拉伸的特性；且阻变拉伸传感器采用渗透导电网络结构，具有良好的灵敏度。

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