胶粘薄片的成形装置及成形方法

    公开(公告)号:CN1944043A

    公开(公告)日:2007-04-11

    申请号:CN200610141357.7

    申请日:2006-09-29

    Abstract: 本发明提供有:第一冲切设备15,其从薄片FS侧相对于原料薄片L提供外部切口11和内部切口12,以便形成胶粘薄片S;第二冲切设备17,其从释放衬里PS侧在内部切口12的内侧上形成抽出切口16;以及去除设备18,其去除作为不必要薄片部分S1的由内部切口12和抽出切口16围绕的原料薄片部分。

    半导体装置的制造方法及双面粘合片

    公开(公告)号:CN110476241A

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201880022512.4

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 本发明提供具有下述工序(1)~(4)的半导体装置的制造方法、以及该制造方法所使用的双面粘合片,所述半导体装置的制造方法是使用双面粘合片制造半导体装置的方法,所述双面粘合片依次具有第1粘合剂层、包含膨胀性粒子且为非粘合性的基材、以及第2粘合剂层。工序(1):将硬质支撑体粘贴于第2粘合剂层的粘合表面的工序。工序(2):将半导体芯片放置于第1粘合剂层的粘合表面的一部分的工序。工序(3):用密封材料包覆所述半导体芯片、以及第1粘合剂层的粘合表面中所述半导体芯片的周边部,使该密封材料固化,得到所述半导体芯片被固化密封材料密封而成的固化密封体的工序。工序(4):使所述膨胀性粒子膨胀,从所述固化密封体剥离所述双面粘合片的工序。本发明可以抑制扇出型的封装的制造工序中半导体芯片发生位置偏移,生产性优异,得到的半导体装置的再布线层形成面的平坦性优异。

    带的粘贴方法及粘贴装置
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100506675C

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200480009490.6

    申请日:2004-04-07

    Inventor: 中山武人

    Abstract: 带(12),(12)…贴附在长支撑薄膜(10)上,且该支撑薄膜(10)在被粘贴到粘附体(14)的带(12)包含在框架构件(18)的框架中的位置附着在框架构件(18)上。该支撑薄膜(10)受压以将该带(12)粘贴到粘附体(14)上,且支撑薄膜(10)与带(12)脱离。传送该支撑薄膜(10)并重复上述操作以将带(12),(12)…粘贴到各粘附体(14),(14)…上。带(12)的张力传播到支撑薄膜(10),且框架构件(18)阻断框架外的支撑薄膜(10)的张力。因此,粘贴到粘附体(14)的带(12)具有减小了的残余应力从而可防止带所粘贴的粘附体翘曲变形。

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