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公开(公告)号：CN108183698A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810116361.0
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/125 , H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)具有石英基板(3)，该石英基板(3)具有：基部(4)；从基部(4)起延伸的一对振动臂(5、6)；以及支承臂(71)，其在振动臂(5、6)之间，在与振动臂(5、6)相同的一侧从基部(4)起延伸。并且，振动臂(5)具有臂部(51)和设置在臂部(51)前端的锤头(59)。臂部(51)具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。
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公开(公告)号：CN104506160B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201410645694.4
申请日：2011-04-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/215
Abstract: 振动片、振子以及传感器，能够降低热弹性损失，具有高的Q值。振动片(10)具有：进行弯曲振动的振动臂(30)；结合振动臂(30)的端部的基部(20)；锥形部(25)，其关于振动臂(30)的振动中心对称，随着从锥形部(25)与振动臂(30)的结合部靠近锥形部(25)与基部(20)的结合部，锥形部(25)的宽度变宽，当用L表示振动臂(30)的长度、用W表示振动臂(30)的宽度、用Lt表示锥形部(25)的长度、用Wt表示锥形部(25)的宽度时，利用锥形长度占有率η＝Lt/L和锥形宽度占有率ξ＝2Wt/W来规定锥形部(25)的形状。通过这样地规定锥形部(25)的形状，能够降低随振动产生的热弹性损失而提高Q值，实现稳定的振动特性。
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公开(公告)号：CN102487267B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201110393650.3
申请日：2011-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备：多个棒状的振动臂(15a、15b)；基部(12)，其对各个振动臂(15a、15b)的一侧端部之间进行连接；锤部(20a、20b)，其分别被形成在各个振动臂(15a、15b)的另一侧端部上且宽度宽于各个振动臂(15a、15b)；槽部(17a、17b)，其分别被形成在沿着各个振动臂(15a、15b)的振动中心线(B)的表面及背面上。而且，具备分别被形成在包括各槽部内部在内的各个振动臂的表面及背面上的激励电极(30～36)，在各个锤部(20)上形成有多条分别贯穿表面及背面且沿着各个所述振动臂的长度方向而以直线状延伸的频率调节用狭缝(25)。
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公开(公告)号：CN104660207A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410646261.0
申请日：2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02157 , G01L1/106 , H03B5/32 , H03H3/04 , H03H9/0509 , H03H9/0547 , H03H9/15 , H03H9/21 , H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)包含振动片(3)，振动片(3)具有：基部(31)、振动臂(32)、连接部(34)以及连结基部(31)与连接部(34)的连结部(35)，在设振动片(3)的厚度为T、基部31的宽度为W1、连结部35的宽度为W2时，满足50μm≤T≤210μm、0.067≤W2/W1≤0.335的关系，在设振动臂(32)的臂部(321)的宽度为W3、锤头(322)的宽度为W4时，满足W4≥2.8W3的关系。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104410382A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410659202.7
申请日：2010-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供耐冲击性较高的小型振动片。水晶振动片(20)具备：基部(21)；一对振动臂(22)，其从该基部(21)的一端侧分成两段且互相平行延伸。在基部(21)中，沿着一条直线的相反方向上形成一对切口(41A)、(41B)，以此在该两个主面上出现被缩窄的形状。一对支承臂(30)被设置为，基部(21)中的与一对振动臂(22)的延伸方向交叉的方向上的两个端部，分别在相反的方向延伸后，在弯曲部(31)处弯曲，并与一对振动臂(22)平行延伸。在支承臂(30)的前端侧上设置有承接部(35)，其被配置在相邻振动臂(22)的通常振动时的振幅范围之外，且在相邻振动臂(22)的位移超过通常振幅范围时与该振动臂(22)抵接的位置上。
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公开(公告)号：CN104300933A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410337949.0
申请日：2014-07-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/215 , H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 提供振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够提高耐冲击性并且实现Q值提高。在设振动臂(5、6)的臂部(50、60)的沿着X轴方向的宽度为W1、设振动臂(5)的主面中的夹着槽(55)的两个部分各自沿着X轴方向的宽度为W3、设2×W3/W1为η时，振动片(2)满足14.2％＜η＜100％的关系。
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公开(公告)号：CN103812471A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410027347.5
申请日：2011-04-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/15 , H03H9/21 , G01P15/097 , G01C19/56
Abstract: 振动片以及振子。该振动片具有基部和振动臂，振动臂具有从基部延伸出的宽度扩大部和从宽度扩大部延伸出的臂部，随着从宽度扩大部与臂部的结合部朝向宽度扩大部与基部的结合部，宽度扩大部沿着与延伸的方向交叉的方向的宽度变宽，设振动臂沿着延伸的方向的长度为L，臂部沿着交叉的方向的宽度为W，宽度扩大部沿着延伸的方向的长度为Lt，宽度扩大部的外缘与臂部的外缘相接合的第1结合部、和宽度扩大部的外缘与基部相接合的第2结合部之间的沿着交叉的方向的宽度即锥形部的宽度为Wt，宽度扩大部的长度Lt相对于振动臂的长度L的长度占有率为η=Lt/L，锥形部的宽度Wt相对于臂部的宽度W的宽度占有率为ξ=2Wt/W时，满足：0.0168≦η≦0.1680，并且2.409η2+4.728×10-2η+2.959×10-2≤ξ≤-4.723×101η2+1.434×101η+1.711×10-2。
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公开(公告)号：CN102332889B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110192101.X
申请日：2011-07-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03B5/30 , H03H9/02102 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 本发明提供一种能够提高Q值的振动片、具备该振动片的振子以及振荡器。水晶振动片(1)具备：基部(11)；从基部起延伸的一对振动臂(12、13)，振动臂(12、13)的机械性的共振频率f大于热弛张频率f0，振动臂(12、13)具有沿着振动臂(12、13)的长度方向而形成在相互对置的主面(10a、10b)上的槽部(18)，槽部(18)具有：底部(18c)；第1侧面部(18a)，其沿着振动臂(12、13)的长度方向形成，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接；第2侧面部(18b)，其隔着底部(18c)而与第1侧面部(18a)对置，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接，槽部(18)具有无电极区域，所述无电极区域为，在从第1侧面部(18a)的底部(18c)侧的一部分起，包括底部(18c)在内直至第2侧面部(18b)的底部(18c)侧的一部分为止的范围内，未设置激励电极(20、21)的区域。
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公开(公告)号：CN103580641A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310301816.3
申请日：2013-07-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/215
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，能够抑制振动泄漏且具有良好的振动特性。振动片（200）包含：基部（220）；一对振动臂（230、240），它们从基部（200）向+Y轴方向突出，在俯视时在与Y轴方向交叉的X方向上隔着间隔距离而排列；以及支撑臂（250），其位于一对振动臂（230、240）之间，从基部（220）向+Y轴方向突出。基部（220）包含第1宽度缩小部（222），该第1宽度缩小部（222）位于以基部（220）的中央为界而与支撑臂（250）突出的一侧相反的一侧，并且，在所述间隔距离的范围内，在俯视时随着远离于支撑臂（250），该第1宽度缩小部（222）在X轴方向上的长度逐渐减小。
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