-
公开(公告)号：CN118103680A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202280068526.6
申请日：2022-06-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测系统具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，其具有彼此的距离可变的第1镜和第2镜；光检测部，其构成为能够检测λ1以上且λ2以下的波长范围的光；和控制部，其对法布里‑珀罗干涉滤波器施加电压以使得上述距离在d1以上且d2以下的距离范围内变化。关于上述距离为d1的情况下的光的透过光谱T1(λ)，与单一次数对应的λa处的峰值透过率T1(λa)出现在上述波长范围内，λ2处的透过率T1(λ2)为1％以下。关于上述距离为d2的情况下的光的透过光谱T2(λ)，与单一次数对应的λb处的峰值透过率T2(λb)在上述波长范围内出现，λ1处的透过率T2(λ1)为1％以下。
-
公开(公告)号：CN113167995B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN201980080024.3
申请日：2019-09-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学滤光器装置具备法布里‑珀罗干涉滤光器及电阻测定部。法布里‑珀罗干涉滤光器具备：第1构造体，其具有第1表面、及第2表面；第2构造体，其具有第3表面；第1镜部，其设置于第1构造体；第2镜部，其以隔着空隙而与第1镜部相对的方式设置于第2构造体；第1驱动电极，其设置于第1构造体；第2驱动电极，其设置于第2构造体；第1端子及第3端子，其电连接于第1驱动电极；及第2端子，其电连接于第2驱动电极。第1驱动电极从第1表面与第3表面相对的相对方向观察时与空隙重叠。在相对方向上，第1驱动电极与空隙之间的距离短于第2表面与空隙之间的距离。电阻测定部电连接于第1端子及第3端子，测定第1驱动电极的电阻值。
-
公开(公告)号：CN111357091B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201880073809.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 吸附方法是使用吸附夹头吸附法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，该法布里‑帕罗干涉滤波器具备基板、设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部、及自与上述主面交叉的方向观察位于上述层叠结构部的外侧且较上述主面更朝上述基板侧凹陷的薄化部，该吸附方法具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里‑帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里‑帕罗干涉滤波器。
-
公开(公告)号：CN111465884B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN201880075333.7
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里‑帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
-
公开(公告)号：CN110462353B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201880021069.9
申请日：2018-03-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：封装体，其形成有使光入射的开口；光透过部，其以将开口封闭的方式配置于封装体的内面；法布里‑珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，使透过了光透过部的光透过；及光检测器，其配置于封装体内，检测透过了法布里‑珀罗干涉滤波器的光。光透过部包含配置于封装体内且使入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光透过的带通滤波器及将入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光聚光的透镜部而一体地构成。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109196404B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201780032540.X
申请日：2017-05-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备：基板(11)，其具有第1表面(11a)；第1层叠体(22)，其具有配置于第1表面(11a)的第1镜部(31)；第2层叠体(24)，其具有经由空隙(S)而与第1镜部(31)相对的第2镜部(32)；及中间层(23)，其于第1层叠体(22)与第2层叠体(24)之间划定空隙(S)。基板(11)具有于自垂直于第1表面(11a)的方向观察的情形时位于较中间层(23)的外缘更靠外侧的外缘部(11c)。第2层叠体(24)进而具有：覆盖部(33)，其覆盖中间层(23)；及周缘部(34)，其位于外缘部(11c)中的第1表面(11a)上。第2镜部(32)、覆盖部(33)及周缘部(34)以相互连续的方式一体地形成。周缘部(34)沿外缘部(11c)的外缘而被薄化。
-
公开(公告)号：CN109477959B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201780041830.0
申请日：2017-07-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)；及第一端子(15)；并且，中间层(23)具有包围第一端子(15)的第一内侧面(23d)，第一内侧面(23d)以如下方式弯曲：中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部位于更靠向第一端子侧的位置。
-
公开(公告)号：CN109313334B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201780032566.4
申请日：2017-05-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 法布里‑帕罗干涉滤光器的制造方法包括：形成工序，其在晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层，且形成将第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少一者沿多条线的各个部分地薄化而成的第1薄化区域；切断工序，其在形成工序之后，通过激光的照射，沿多条线的各个在晶圆的内部形成改质区域，且沿多条线的各个将晶圆切断成多个基板；及去除工序，其在形成工序与切断工序之间、或在切断工序之后，通过蚀刻而自牺牲层将去除预定部去除。
-
公开(公告)号：CN111373303A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201880075448.6
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的一实施方式的异物除去方法包含如下步骤：准备法布里-帕罗干涉滤光器，该法布里-帕罗干涉滤光器构成为在互相相对的第1层叠体的至少包含第1镜部的部分与第2层叠体的至少包含第2镜部的部分间形成空隙，从而互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化；检测附着于第2层叠体的表面的异物；及通过将基于检测出的异物的位置将气流波峰的位置调整后的空气吹送至第2层叠体的表面，而将异物自第2层叠体的表面除去。
-
公开(公告)号：CN110462353A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880021069.9
申请日：2018-03-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：封装体，其形成有使光入射的开口；光透过部，其以将开口封闭的方式配置于封装体的内面；法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，使透过了光透过部的光透过；及光检测器，其配置于封装体内，检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光。光透过部包含配置于封装体内且使入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过的带通滤波器及将入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光聚光的透镜部而一体地构成。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
45
records
(took 0.031 seconds)
