一种聚碳酸酯作为紫外光刻胶材料的应用

    公开(公告)号:CN111253563B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN202010038048.7

    申请日:2020-01-14

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种聚碳酸酯作为紫外光刻胶材料的应用,所述聚碳酸酯是含有光敏基团或产酸基团侧基中的一种或同时含有的均聚物或共聚物。本发明将产酸基团或/和光敏基团引入聚碳酸酯主链,抑制了光酸的扩散,并结合了聚碳酸酯易断链的特点,使光刻胶具有高灵敏度、对比度、分辨率以及低线边缘粗糙度的特点,弥补了一般化学放大型光刻胶材料的缺陷。

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