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公开(公告)号：CN111595821B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202010344222.0
申请日：2020-04-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种紧凑、三波长的ICF靶丸表征系统及方法，其中，ICF靶丸表征系统包括干涉检测光路和背光投影检测光路，具体包括第一激光器、第二激光器、第三激光器、第一准直镜、第二准直镜、第三准直镜、非偏振分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、待测靶丸、第一二向色镜、第二二向色镜、第一偏振分束镜、第二偏振分束镜、监控相机、LED、成像镜、线偏振片、CCD图像传感器和电脑。利用本发明，可以实现ICF靶丸的在线表征。
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公开(公告)号：CN111043973B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201911274436.9
申请日：2019-12-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种氢同位素结晶高度及表面粗糙度干涉测量装置及方法，其中，装置包括干涉测量系统、位移系统和计算机处理模块；方法包括：在显微观测模式下，操控位移系统扫描拍摄整个结晶生长面，并进行图像拼接，得到全部区域图像，确认需要监控的精确位置；将测量系统观察视场对准监控区域，切换到干涉测量模式，利用干涉图条纹相位测量技术实现对待测区域生长高度及生长最终状态表面粗糙度测量。利用本发明的装置及方法，可实现对氢同位素低温结晶生长高度及表面粗糙度的非接触式测量，消除真空室玻璃、生长基底强反射光及生长过程边界断裂等对常见干涉显微系统的影响，实现高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111595821A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010344222.0
申请日：2020-04-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种紧凑、三波长的ICF靶丸表征系统及方法，其中，ICF靶丸表征系统包括干涉检测光路和背光投影检测光路，具体包括第一激光器、第二激光器、第三激光器、第一准直镜、第二准直镜、第三准直镜、非偏振分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、待测靶丸、第一二向色镜、第二二向色镜、第一偏振分束镜、第二偏振分束镜、监控相机、LED、成像镜、线偏振片、CCD图像传感器和电脑。利用本发明，可以实现ICF靶丸的在线表征。
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公开(公告)号：CN113552094B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202110823354.6
申请日：2021-07-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种ICF靶丸冰层折射率三维重建的测量装置及测量方法，测量装置包括激光器、激光准直镜、第一偏振分束镜、电动光挡、载有反射镜的PZT、振镜、第一聚焦镜、第二聚焦镜、显微物镜、第二偏振分束镜、线偏振片、CCD图像传感器、高功率LED、光阑和电脑；测量方法包括：利用背光投影光路将靶丸定位，切换到干涉光路，利用振镜扫描靶丸，采集靶丸各角度下的四步移相干涉图，得到各角度下的二维平均折射率分布；其次设定层析过程中各层的阈值；将二维平均折射率分布转换为当前所需的投影折射率分布；应用ART方法逐层层析反演，应用偏折修正方法，得到正确的三维折射率重建。利用本发明，可以实现快速、非接触式三维折射率重建。
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公开(公告)号：CN112697052A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011230665.3
申请日：2020-11-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种慢化组件气体冷凝薄膜厚度分布测量装置及方法，方法包括：(1)薄膜冷凝前，移动控制模块将基底表面成像至探测器上；(2)采集干涉图并使用移相算法获取整体基底相位分布和系统误差分布；(3)冷凝薄膜形成后，移动控制模块将探测器成像位置对准薄膜最高位置表面；(4)使用移相算法获取干涉图计算不同位置对应的相位信息，进一步得到冷凝薄膜区域包含多光束干涉影响的相位分布；(5)利用建模技术计算薄膜多光束干涉相位与测量光无多光束干涉情况下经过薄膜的理论相位的校正函数关系，并进一步计算校正测量相位；(6)计算得到薄膜厚度分布。利用本发明，可实现对慢化组件气体冷凝薄膜厚度的非接触、快速、高精度测量。
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公开(公告)号：CN108333145B
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201810001451.5
申请日：2018-01-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种ICF靶丸的检测新装置及定位方法。本发明包括激光器、扩束器、第一分束镜、第二分束镜、第三分束镜、平面反射镜、待测靶丸、透镜、CCD图像传感器、电脑、高功率LED、光阑。将靶丸以10μm的间隔移动，采集每个位置处的背光投影图像，进行滤波、孔径提取等图像预处理工作后，计算亮环附近区域的锐度，锐度最大的位置满足物像共轭关系。将靶丸移到该位置后，继续以1μm的间隔，在前后10μm的区间内移动。重复上述采集、图像预处理、锐度计算步骤，将靶丸移到新的锐度最大位置，完成定位。本发明提出的靶丸检测新装置与定位方法，适用于常规的筒状真空空间，并且能实现快速、精确的自动定位。
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公开(公告)号：CN211740138U
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202020094699.3
申请日：2020-01-16
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型公开了一种平面、球面、抛物面组合干涉测量装置，属于光干涉测量仪器技术领域，该装置包括：激光折返扩束系统、主干涉仪系统和成像系统；主干涉系统由偏振调制组件、面形测量组件和相位调制组件组成；偏振组件通过调整起偏器与检偏器的角度实现干涉图的对比度调节，面形测量组件根据不同待测面形调整光路结构，相位调制组件根据不同解调算法调制干涉图相位。本实用新型具有精确高效，结构紧凑，操作简单，扩束光斑均匀，对比度可调节，能够测量平面、球面、抛物面多种光学镜面，能够利用移相、傅里叶载波、正则化相位跟随法(RPT)多种解调算法的优点。
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