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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102322795B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110130596.3
申请日：2011-05-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置。由安装于被测主轴轴端经过精密车削的法兰、四个点激光发生器、四个CCD相机(简称CCD)及其它附件组成。测量过程中法兰随被测主轴一起转动，四个点激光发生器发射四束激光入射到法兰锥面，激光经锥面反射后投射到四个CCD上。主轴没有回转误差时，每个CCD上得到的光斑位置都处于CCD中心；当主轴存在回转误差时，CCD上光斑的位置将发生变化。通过对CCD上激光位置的捕捉和后续处理，可以实现主轴径向跳动δx，δy、轴向窜动δz以及主轴绕X、Y轴的偏转误差εx，εy的测量。该方法结构简单，设备成本低，可以实现主轴五自由度回转误差非接触在线测量，具有较快的测量速度。
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公开(公告)号：CN102607394A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210081249.0
申请日：2012-03-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器。由主轴旋转电极和同轴安装在主轴旋转电极外的柱面固定电极构成；其中：主轴旋转电极：是在主轴外圆柱面向外依次包覆有第一绝缘层、主轴铜电极和第二绝缘层；柱面固定电极：是在电极基座内圆柱孔向内依次包覆有第三绝缘层、等电位保护环、第四绝缘层和四个等距嵌在第四绝缘层内圈的四个弧形电极。本发明采用MEMS加工工艺，能将电极加工得很薄，不仅可以克服主要常规方法制造柱面电容传感器时存在的复杂加工、装配工艺，缩小传感器的体积，而且还能抑制传感器的边缘效应，适合于高精度主轴回转误差监测。该工艺易于实现柱面电容传感器的小型化制作，同时易于实现传感器的批量化制作。
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公开(公告)号：CN1807941A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610049205.4
申请日：2006-01-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电堆驱动器的压电气阀。在阀体内用铰链与弹性挡板的一侧连接，其另一侧的下端装有调力螺钉，上端装有密封圆盘并接出气端，阀体上装有进气端，装在阀体外的弹性支承与压电堆驱动器的一端相接触，其另一端与调整螺钉相接触，弹性挡板一侧的上端与伸入阀体内的驱动杆一端相接触并用密封垫圈密封，伸出阀体外的驱动杆另一端与压电堆驱动器的一端相接触。采用压电堆驱动器，用具有位移放大作用的、带柔性铰链结构的挡板直接作为“喷嘴挡板压电气阀”的挡板，兼具直动、弯曲式压电气阀的优点。保证足够的驱动力和输出位移，避免了普通杠杆放大机构导致的间隙误差和响应迟滞。可应用于大流量、响应快、驱动力大的中高压场合。
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公开(公告)号：CN202083351U
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201120161227.6
申请日：2011-05-19
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置。由安装于被测主轴轴端经过精密车削的法兰、四个点激光发生器、四个CCD相机(简称CCD)及其它附件组成。测量过程中法兰随被测主轴一起转动，四个点激光发生器发射四束激光入射到法兰锥面，激光经锥面反射后投射到四个CCD上。主轴没有回转误差时，每个CCD上得到的光斑位置都处于CCD中心；当主轴存在回转误差时，CCD上光斑的位置将发生变化。通过对CCD上激光位置的捕捉和后续处理，可以实现主轴径向跳动δx，δy、轴向窜动δz以及主轴绕X、Y轴的偏转误差εx，εy的测量。该方法结构简单，设备成本低，可以实现主轴五自由度回转误差非接触在线测量，具有较快的测量速度。
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公开(公告)号：CN2869477Y
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200620100583.6
申请日：2006-01-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电堆驱动器的压电气阀。在阀体内用铰链与弹性挡板的一侧连接，其另一侧的下端装有调力螺钉，上端装有密封圆盘并接出气端，阀体上装有进气端，装在阀体外的弹性支承与压电堆驱动器的一端相接触，其另一端与调整螺钉相接触，弹性挡板一侧的上端与伸入阀体内的驱动杆一端相接触并用密封垫圈密封，伸出阀体外的驱动杆另一端与压电堆驱动器的一端相接触。采用压电堆驱动器，用具有位移放大作用的、带柔性铰链结构的挡板直接作为“喷嘴挡板压电气阀”的挡板，兼具直动、弯曲式压电气阀的优点。保证足够的驱动力和输出位移，避免了普通杠杆放大机构导致的间隙误差和响应迟滞。可应用于大流量、响应快、驱动力大的中高压场合。
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