纳米硅薄膜四岛-梁-膜传感器芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN101922984B

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN201010243854.4

    申请日:2010-08-03

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及超微压力传感器,特指纳米硅薄膜四岛-梁-膜传感器芯片及其制备方法。所述传感器芯片为正方形,采用单晶硅作为芯片材料,纳米硅作为敏薄电阻材料;芯片有效区域为正方形,其背面由4个大岛和4个小岛组成,小岛位于大岛之上;有效芯片区域的正面由1个中央梁、2个边缘梁、2片平膜区域及2片梁膜区域构成,中间梁和边缘梁上设有纳米硅材料做成的电阻。本发明利用了双岛梁膜的优点,岛与梁的结合,起到了二次应力集中的效果,提高了传感器的灵敏度和线性度,将四个电阻分别放在中间梁和边缘梁上,通过电阻将应力转化为阻值的变化。中间与边缘的电阻变化大小相等、符号相反,通过惠斯通电桥,采用恒流源激励,实现对超微压力的测量。

    一种便捷式发电储能充电器

    公开(公告)号:CN101442282A

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:CN200810235443.3

    申请日:2008-12-02

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及一种便捷式发电储能充电器。该充电器使用微型光电系统作为产生电能的部件,微型储气装置通过微型流量控制阀与微混合器相连,混合气体在微混合器中实现混合,通过供气阀将混合气体输送到多孔介质燃烧管,多孔介质燃烧管的外围依次为镀膜真空隔热石英管、光电池、微型散热片,其中光电池贴于微型散热器的背面,分别从光电池的正反面引出电极与锂电池的正负极相连,形成储能过程;从锂电池上引出另两个正负电极用于对外放电时使用;支架分为两部分,上部分固定多孔介质燃烧管、镀膜真空隔热石英管、光电池、散热片及电子点火装置,下部分固定微混合器、锂电池及供气阀开关,上下两部分通过螺柱连接。本发明可广泛应用于各种电子器件中。

    电磁驱动式微拉伸装置
    13.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2504624Y

    公开(公告)日:2002-08-07

    申请号:CN01263043.8

    申请日:2001-09-29

    Applicant: 江苏大学

    Inventor: 丁建宁 范真

    Abstract: 本实用新型涉及测量机械,特指一种电磁驱动式微拉伸装置,由机体、拉伸杆、样品台组成,拉伸杆上部设有两个叶片弹簧,二者之间设有套在拉伸杆上的两块磁极相对的永久磁铁,在两块永久磁铁之间的拉伸杆上绕有线圈。样品台由与拉伸杆的一端相连的动样品台与静样品台组成,静样品台上设有光纤位移传感器,静样品台的一端设有螺旋测微器,拉伸杆上设有限位块。它具有很好的线性,低滞后性,无摩擦,能进行直接测量控制。

    打火发电机
    14.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201312272Y

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200820217553.2

    申请日:2008-12-02

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本实用新型涉及微热光电系统应用技术领域,特指一种微型能源,即打火发电机。所说的打火发电机,其内部是燃烧室,燃烧室周围是隔热管,隔热管外围是光电池,光电池背面是散热片,微混合器与燃烧室相连通。由于本实用新型整体结构构造简单,运行稳定。本实用新型利用氢氧燃烧产生热,由热在燃烧管产生光,光子再由光电吃产生电,废气为水蒸气,所以不产生污染,具有极大的应用价值和市场前景。

    一种便捷式发电储能充电器

    公开(公告)号:CN201312271Y

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200820215012.6

    申请日:2008-12-02

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种便捷式发电储能充电器。该充电器使用微型光电系统作为产生电能的部件,微型储气装置通过微型流量控制阀与微混合器相连,混合气体在微混合器中实现混合,通过供气阀将混合气体输送到多孔介质燃烧管,多孔介质燃烧管的外围依次为镀膜真空隔热石英管、光电池、微型散热片,其中光电池贴于微型散热器的背面,分别从光电池的正反面引出电极与锂电池的正负极相连,形成储能过程;从锂电池上引出另两个正负电极用于对外放电时使用;支架分为两部分,上部分固定多孔介质燃烧管、镀膜真空隔热石英管、光电池、散热片及电子点火装置,下部分固定微混合器、锂电池及供气阀开关,上下两部分通过螺柱连接。本实用新型可广泛应用于各种电子器件中。

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