公开(公告)号：CN101785325A

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200980100206.9

申请日：2009-02-18

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 笠井隆 ,  大野和幸 ,  鹤龟宜崇

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/005 ,  H04R2201/003

Abstract: 一种静电电容式振动传感器。在硅基板(32)上贯通表面及背面而形成有贯通孔(37)。覆盖贯通孔(37)而在硅基板(32)的上表面形成振动电极板(34)，在振动电极板(34)之上隔着气隙(35)而形成固定电板(36)。在固定电极板(36)中与振动电极板(34)相对的区域，在该区域内的外周部设有音响孔(43b)，其比在该区域内的外周部以外设置的音响孔(43a)的开口面积小。这些音响孔(43a、43b)无论其开口面积大小如何，都以一定的间距有规则地排列。

公开(公告)号：CN113196362B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN201980077775.X

申请日：2019-11-14

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 吉武直毅 ,  松浦圭记 ,  鹤龟宜崇

IPC: G08G1/16

Abstract: 检测装置(1)检测移动体(2)的周边环境中的死角内的物体。检测装置具有测距部(12)、检测部(11)以及控制部(13)。测距部取得表示从移动体到周边环境的距离的距离信息。检测部检测死角内的物体。控制部控制检测部的动作。控制部根据由测距部取得的距离信息，检测周边环境中的死角(S3)。控制部根据距检测到的死角的距离，控制检测部检测该死角内的物体的精密度(S4)。

公开(公告)号：CN112639412A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201980057766.4

申请日：2019-03-14

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 吉武直毅 ,  石田由衣 ,  鹤龟宜崇

IPC: G01F1/66

Abstract: 流量测量装置(1)在换能器(2、3)之间，经由管路(4)的内部的流体(5)而收发具有多个频率和规定的时间长度的测量信号。流量测量装置(1)计算表示所发送的测量信号的基准信号与所接收的测量信号之间的相关系数。流量测量装置(1)在相关系数的峰值比阈值(Th1)高时，根据测量信号计算管路(4)的内部的流体(5)的流量。流量测量装置(1)在相关系数的峰值为阈值(Th1)以下时，变更测量信号的频率和时间长度中的至少一方而重新发送测量信号。

公开(公告)号：CN102238461B

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201110094292.6

申请日：2011-04-15

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 笠井隆 ,  鹤龟宜崇 ,  文承启 ,  寺阪新一

IPC: H04R19/02 ,  H04R31/00

CPC classification number: H04R19/005 ,  H04R19/04

Abstract: 本发明提供一种声音传感器，不使梁部的强度及隔膜的支承强度降低，而能够加长梁部的未由锚件固定的部分的长度。在硅基板(32)的上面，在由多晶硅构成的第一牺牲层(48)的延伸部(48a)上经由由氧化硅膜构成的第二牺牲层(47)形成有由多晶硅构成的隔膜(33)的梁部(36a)。延伸部(48a)形成在梁部(36a)的除前端部之外的区域下。从设于硅基板(32)的背室(35)蚀刻除去延伸部(48a)，在梁部(36a)的下面的除前端部之外的区域形成空洞部(50)后，进一步蚀刻除去第二牺牲层(47)。此时，在梁部(36a)的前端部下面残留第二牺牲层(47)作为锚件(37)。

公开(公告)号：CN101785325B

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN200980100206.9

申请日：2009-02-18

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 笠井隆 ,  大野和幸 ,  鹤龟宜崇

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/005 ,  H04R2201/003

Abstract: 一种静电电容式振动传感器。在硅基板(32)上贯通表面及背面而形成有贯通孔(37)。覆盖贯通孔(37)而在硅基板(32)的上表面形成振动电极板(34)，在振动电极板(34)之上隔着气隙(35)而形成固定电板(36)。在固定电极板(36)中与振动电极板(34)相对的区域，在该区域内的外周部设有音响孔(43b)，其比在该区域内的外周部以外设置的音响孔(43a)的开口面积小。这些音响孔(43a、43b)无论其开口面积大小如何，都以一定的间距有规则地排列。

公开(公告)号：CN102100086A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN200980127821.9

申请日：2009-02-19

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 笠井隆 ,  鹤龟宜崇

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/04 ,  H04R19/005 ,  H04R31/006

Abstract: 一种静电电容式振动传感器，在具有空洞部(37)的硅基板(32)的上面设有接受振动而进行膜振动的振动电极板(34)。另外，在振动电极板(34)的上方设有固定电极板(36)，该固定电极板(36)开设有沿厚度方向贯通的多个声音孔(43)，且使振动电极板(34)与固定电极板(36)相对。在空洞部(37)的周围，在硅基板(32)的上表面与振动电极板(34)的下表面之间设有使振动电极板(34)及固定电极板(36)之间的气隙(35)和所述空洞部(37)连通的通风孔(45)。在与通风孔(45)相对应的区域，在振动电极板(34)上开设有多个形成贯通孔状的排气部(42)。