公开(公告)号：CN110888189A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201911291223.7

申请日：2019-12-16

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 肖功利 ,  杨寓婷 ,  杨宏艳 ,  张开富 ,  徐燕萍 ,  欧泽涛 ,  陈剑云 ,  李海鸥 ,  邓艳容 ,  傅涛 ,  李琦 ,  张法碧 ,  孙堂友 ,  陈永和 ,  刘兴鹏

IPC: G02B5/00 ,  G02B5/20

Abstract: 本发明涉及微纳集成光学器件技术领域，公开了一种超薄无衬底颜色可调谐的表面等离子体滤波器。所述滤波器结构包括：波导层，缓冲层和矩形金属纳米盘阵列。其中波导层上覆盖有缓冲层，缓冲层上刻蚀有均匀排布的矩形金属纳米盘阵列，矩形金属纳米盘阵列x方向周期为Px，y方向周期为Py。当x与y相等，通过改变x(y)方向周期，可实现对滤出颜色的静态调制，当x与y不相等，可通过改变周期以实现对滤出颜色的静态调制，改变光的偏振以实现对滤出颜色的动态调制。本专利有着体积小，传输效率高，结构设计简单，能够同时实现对颜色的静态调制以及动态调制，可固定TE(TM)偏振滤出颜色，单独调制TM(TE)偏振下滤出的颜色等优点。本发明在未来光电器件集成，超高分辨率成像，LCD液晶显示系统等领域都有重要的应用。

公开(公告)号：CN110579826A

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201910820221.6

申请日：2019-09-01

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 肖功利 ,  张开富 ,  杨宏艳 ,  杨秀华 ,  杨寓婷 ,  李海鸥 ,  张法碧 ,  傅涛 ,  李琦 ,  刘兴鹏

IPC: G02B5/00 ,  G02B5/20

Abstract: 本发明公开了基于MIM矩形腔阵列结构的表面等离子体滤波器。在本发明实例中，金属薄膜采用金属银材料制成，整体为矩形的金属薄膜，主要包括金属膜以及开设在金属膜上的矩形阵列结构。该矩形腔阵列由入射波导、中间波导和出射波导组成。谐振腔由单元结构为矩形的阵列构成，每个矩形腔可以形成一个F-P腔。通过调控矩形个数n、波导的宽度W、矩形腔的长度L等几何参数，实现对光波进行一个或者多个不同波长的光波滤波，和阻带宽度的有效调节。对比与其他结构的SPPs滤波器而言，这个结构拥有着更简洁的工艺以及较小的能量损耗，可以作为简单的光学设备应用于高集成的光电集成电路中。

公开(公告)号：CN109932775A

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201910205522.8

申请日：2019-03-18

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 肖功利 ,  杨寓婷 ,  杨宏艳 ,  杨秀华 ,  窦婉滢 ,  李海鸥 ,  李琦 ,  张法碧 ,  傅涛 ,  孙堂友

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明提供的是一种基于MIM结构的内嵌对称耦合金属块组滤波器，属于微纳光电子领域，滤波器包括金属膜和空气层，在金属膜上刻蚀有波导管1，在该波导管1内侧对称刻蚀两个金属块3，这两个金属块3在波导管1的上下两侧成对称耦合分布。在波导管1与金属块3间填充空气形成空气层2。本发明可以提高微纳集成光学器件在集成光电路中的集成密度，同时提高此滤波器的耦合效率,从而改变它的滤波特性获得较小的半波宽。