公开(公告)号：CN111122510A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201911091980.X

申请日：2019-11-08

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 苑立波 ,  李晟 ,  孟令知

IPC: G01N21/45 ,  G03H1/00 ,  G03H1/04 ,  G03H1/22

Abstract: 本发明提供的是一种基于F-P干涉仪腔内增强型透射式正交偏振相位显微成像装置。其特征是：它由激光光源1、光衰减系统2、激光扩束系统3、F-P干涉仪4、PBS偏振分光棱镜5、显微物镜6和8、探测相机7和9、计算机10组成。本发明可用于微小物体的数字全息测量，可广泛用于各种物体内部的折射率三维显微成像领域。

公开(公告)号：CN111122509A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201911091941.X

申请日：2019-11-08

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 苑立波 ,  李晟 ,  孟令知

IPC: G01N21/45 ,  G03H1/00 ,  G03H1/04 ,  G03H1/22

Abstract: 本发明提供的是一种基于F-P干涉仪的腔内增强型透射反射式相位显微成像测量系统。其特征是：它由激光光源1、光衰减系统2、激光扩束系统3、BS分光棱镜4、F-P干涉仪5、显微物镜6和8、探测相机7和9、计算机10组成。本发明通过光在F-P腔中的多次反射，每次经过腔内待测物体可以成倍增加光程差，从而显著增大干涉条纹的宽度，达到了提高分辨率的目的。本发明可用于微小物体的数字全息和折射率测量，可广泛用于各种微小物体内部的折射率三维显微成像测量领域。