公开(公告)号：CN108611590B

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201611145210.5

申请日：2016-12-13

Applicant: 核工业西南物理研究院 ,  成都同创材料表面新技术工程中心

Inventor： 沈丽如 ,  陈美艳 ,  金凡亚 ,  陈庆川 ,  许泽金 ,  但敏 ,  祝土富 ,  杨发展 ,  尹星 ,  赵云华

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明属于低温等离子体材料表面处理技术领域，具体涉及一种Ti合金工件防咬死的方法。本方法包括九个步骤，本方法实现Ti合金工件烘烤除气、离子束溅射清洗和原位离子束辅助磁控溅射沉积Ti‑TiN周期复合涂层的制备工艺，以得到均匀致密、结合性能良好的Ti‑TiN周期复合涂层。提高工件耐磨、抗疲劳和微动磨损等性能，达到防咬死和耐磨的要求。在Ti合金紧固件内螺纹表面制备的Ti‑TiN周期复合涂层，纯度高、膜基结合性能好、膜层均匀致密、界面处无孔隙，处理后的Ti合金紧固件达到耐磨、防咬死、抗微动磨损等要求，防咬死性能较未处理工件至少提高了2倍，满足某型号装备使用要求，大大降低了成本，提高了装备的整体使用稳定性和使用寿命。

公开(公告)号：CN109972101A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201711452193.4

申请日：2017-12-28

Applicant: 核工业西南物理研究院 ,  成都同创材料表面科技有限公司 ,  路达(厦门)工业有限公司

Inventor： 唐德礼 ,  杨发展 ,  许传凯 ,  张异华 ,  林剑冰 ,  金凡亚

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/46 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16

Abstract: 本发明属于低温等离子体材料处理技术领域，具体为一种低掺杂金属纳米类金刚石涂层的制备方法，工件表面清洗之后，将工件安装到真空室工件架固定夹具上，进行真空烘烤除气和等离子体清洗，之后依次沉积金属中间层、金属碳化物中间层和类金刚石涂层，该类金刚石涂层颗粒尺寸小于100nm，金属元素百分比含量低于10％，表面颜色均匀，特别是能够获得高黑度涂层，同时涂层表面均匀致密，膜/基结合强度大，硬度高，摩擦系数低，耐腐蚀性能优异，sp3键含量较大，适合大型工业化生产需求。