-
公开(公告)号：CN109416346B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201680087039.9
申请日：2016-06-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 一种声波传播影像化装置(10)，具备：声波赋予部(12)，其在作为测定对象的物体(11)的表面的规定位置处赋予时间波形由连续性的周期函数表示的声波；物理量测定部(15)，其对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的物理量进行测定，并且对该周期性的变化中的至少三个不同的相位处的物理量进行测定；周期函数获取部(23)，其基于所述至少三个不同的相位处的物理量，来求出表示该物理量的周期性的变化的周期函数。
-
-
公开(公告)号：CN109030624B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201810601368.1
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供能够容易地测量缺陷的深度的缺陷检测方法，其包括：位移统括测定工序，一边在被检查物体的整个检查区域内激发第1弹性波，一边对该检查区域内的该被检查物体的整个表面进行频闪照明，并控制弹性波的相位和频闪照明的时刻，由此，在该弹性波的互不相同的至少3个相位下统括测定检查区域的各点的前后方向的位移；缺陷位置确定工序，根据该至少3个相位下的检查区域的各点的前后方向的位移来确定缺陷在该检查区域的表面上的位置即表面位置；和深度方向信息获取工序，从抵接在包含用缺陷位置确定工序确定的表面位置的所述表面的限定区域内的探头朝表面位置的内部投射第2弹性波，根据其响应波来求该缺陷的深度方向的位置及/或大小。
-
公开(公告)号：CN112154320A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201880093664.3
申请日：2018-12-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 缺陷检测装置(10)具备：激光光源(11)，其向被检查物体(S)的表面的测定区域(R)照射激光；激光光源控制部(15)，其控制激光光源，使得以比被检查物体(S)上产生的振动的周期长的时间连续地或准连续地输出激光；干涉仪(散斑剪切干涉仪(14))，其生成所述激光在测定区域反射出的反射激光与从激光光源(11)射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光；检测器(成像传感器(145))，其检测所述干涉光的在测定区域(R)的各点的强度；移相器(143)，其使反射激光和参照激光中的任意激光的相位偏移；累计强度参数决定部(16)，其通过移相器(143)使所述相位偏移为不同的三个以上的相位，在所述三个以上的相位下分别求出在比所述振动的周期长的累计时间内对所述各点的强度进行累计所得到的累计强度；干涉度分布生成部(17)，其基于针对所述各点在所述三个以上的相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布；以及缺陷检测部(18)，其基于所述测定区域(R)内的所述干涉度的分布，来检测测定区域(R)中的缺陷。
-
公开(公告)号：CN112005086A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201880092070.0
申请日：2018-12-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 振动测量装置(10)具备：激励部(信号发生器11和振子12)，其在被检查物体中激发弹性波；照明部(所述波长稳定化激光光源13和照明光透镜14)，其使用波长稳定化激光光源(13)对被检查物体(S)的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部(剪切散斑干涉仪15)，其通过散斑干涉法或剪切散斑干涉法来一并测定所述测定区域的各点的在前后方向上的位移。通过使用波长稳定化激光光(13)，即使在被检查物(S)的表面凹凸大的情况下也能够得到干涉像。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103630638B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310328976.7
申请日：2013-07-31
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 畠堀贵秀
CPC classification number: G01N21/0303 , G01N21/05
Abstract: 本发明提供一种流通室。该流通室不使用光波导管等对保持有试样液体流动的毛细管的两端部的保持构件的抵接部位进行迂回，即使使光直接地入射或射出，也能够通过抑制折射率效果而不产生基线变动地进行准确的吸光度测定等。该流通室通过将用于保持毛细管（1）的两端部的保持构件（2a、2b）的、至少与毛细管（1）的外周面相接触的部位的全部或一部分的折射率设为1.31以下或者1.40以上，并且将从光源向毛细管（1）入射的测定光的入射NA设为0.22以下，即使在毛细管（1）内流动的试样液体变化为水和乙腈时，保持构件（2a、2b）的与毛细管（1）相接触的部分中的反射率也为固定的值，从而抑制因折射率效果引起的基线变动。
-
公开(公告)号：CN113227781B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201880100367.7
申请日：2018-12-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)，其激发弹性波；照射部(2)，其照射激光；测定部部(3)的测定结果，来获取表示测定区域内的被检查物体(7)的振动状态的图像(61)，从表示振动状态的图像(61)中检测测定区域内的振动状态的不连续部来作为缺陷(73)，基于检测出的缺陷的形状(62)和缺陷部的振动状态中的至少一方来确定缺陷的种类。(3)，其测定干涉光；以及控制部(4)，其基于测定
-
-
公开(公告)号：CN115963174A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211157680.9
申请日：2022-09-22
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种在对周期性的状态变化进行测定的情况下也能够有效果地抑制噪声的检查系统、图像处理方法及缺陷检查装置。本检查系统包括对复数图像的噪声进行抑制的图像处理部，所述复数图像中各个像素由表示检查对象的振动状态的周期性变化的复数来表示。图像处理部通过对表示各个像素的复数彼此进行比较来获取在复数图像中所划定的对象图像区域中包括的像素和在复数图像中与对象图像区域分开地划定的多个参照图像区域中包括的像素的相似度，并且使用基于所获取的相似度的权重来执行对象图像区域的噪声抑制处理。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
40
records
(took 0.038 seconds)
