公开(公告)号：CN1497667A

公开(公告)日：2004-05-19

申请号：CN200310102886.2

申请日：2003-10-22

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 吉川哲也 ,  井上阳一 ,  渡边克充 ,  增田薰 ,  饭岛胜之 ,  岩田智巳 ,  村冈祐介 ,  齐藤公続 ,  沟端一国雄

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  G03F7/00

CPC classification number: H01L21/67017 ,  B08B7/0021

Abstract: 本发明提供一种高压处理方法及高压处理装置，使用高压流体而对被处理体施予高压处理，其中，将所述高压流体冲撞到配置在高压处理室内的所述被处理体表面上之后，沿其表面流到该被处理体外边。