电容性湿度传感器
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100538351C

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200510119491.2

    申请日:2005-11-09

    CPC classification number: G01N27/223

    Abstract: 用于检测湿度变化的电容性湿度传感器包括具有第一电容(Cv1)的第一传感器元件(11,21,31,41,51),具有第二电容(Cv2)并与第一传感器元件串联连接的第二传感器元件(12,22,32,42,52),及具有依照湿度变化的介电常数的湿度敏感层(4)。第一电容(Cv1)和第二电容(Cv2)相对于湿度的变化以不同比率变化。使用第一传感器元件(11,21,31,41,51)和第二传感器元件(12,22,32,42,52)的不同电容(Cv1,Cv2)检测湿度。湿度敏感层(4)形成到第一传感器元件(11,21,31,41,51)和第二传感器元件(12,22,32,42,52)上,使得第一传感器元件(11,21,31,41,51)和第二传感器元件(12,22,32,42,52)被有效地保护。

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