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公开(公告)号:CN1168971C
公开(公告)日:2004-09-29
申请号:CN99105149.1
申请日:1999-04-21
Applicant: 株式会社理光
Inventor: 森田展弘
IPC: G01N21/43
CPC classification number: G01N21/23 , G01J4/04 , G01M11/025 , G01M11/0271 , G01M11/0285
Abstract: 本发明涉及双折射测定方法及其装置,该装置包括照射光学系、照射侧移位机构、偏振光元件、回转装置、回转角检测装置、受光元件、成像光学系及运算装置。调整照射光学系位置,以发散光照射被检透镜,使偏振光元件回转,透过偏振光元件的光成像在受光元件上,根据偏振光元件回转角度及受光元件的受光输出,计算被检透镜的双折射。能得到光学畸变影响小的光弹性干涉条纹像,也能很容易地对应被检透镜种类的变更。