公开(公告)号：CN1576924A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410063900.7

申请日：2004-07-14

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 风间敦 ,  福田和之 ,  白松利也 ,  堀野正也 ,  伊藤康博

IPC: G02B6/26 ,  G02B6/35 ,  G02B6/00 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/3556 ,  G02B6/32 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3584

Abstract: 本发明提供在光开关中也能够适用的光束定向模块，提供能够高精度而且容易地进行准直仪阵列与可动反射镜阵列的相对的对位，组装容易而且低成本的模块，在支撑准直仪的准直仪支撑构件上，在分别设置于具备第1微反射镜和第1窗口的第1反射镜基板、第1反射镜驱动电极、具备第2窗口的第1电极基板、第1衬垫、具备第2微反射镜和第3窗口的第2反射镜基板、第2反射镜驱动电极、具备第4窗口的第2电极基板、第2衬垫、反射镜间衬垫上的对位用贯通孔中，贯穿从准直仪支撑构件突出的销，按照第1电极基板，第1衬垫，第1反射镜基板，反射镜间衬垫，第2反射镜基板，第2衬垫，第2电极基板的顺序叠层，夹在盖与准直仪支撑基板之间进行固定。