公开(公告)号：CN101267940A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200680034442.1

申请日：2006-09-19

Applicant: 株式会社巴川制纸所 ,  独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 井上智仁 ,  津田统 ,  茂木克己 ,  蛯名武雄 ,  水上富士夫

IPC: B32B18/00 ,  C23C14/06 ,  C23C16/42 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供一种提高了表面平坦性和阻气性的粘土薄膜基板、及使用该粘土薄膜基板的显示元件。粘土薄膜基板在具有粘土粒子取向并层合形成的结构的粘土薄膜11的至少一侧表面上层合有阻气无机物质层12。另外，其他粘土薄膜基板中，在具有粘土粒子取向并层合形成的结构的粘土薄膜的至少一侧表面上层合有平坦化无机物质层或有机聚合物层，在上述平坦化无机物质层或有机聚合物层上层合有阻气无机物质层。阻气无机物质层由含氮的氧化硅膜构成，平坦化无机物质层由含碳的氧化硅膜构成。上述粘土薄膜基板可以优选用作场致发光显示元件及液晶显示元件的基板。