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公开(公告)号：CN103282748B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201180064390.3
申请日：2011-11-28
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F5/00 , G01F1/34 , G01F1/86 , G01F15/046
Abstract: 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定，并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成：分支管路(Lb)，其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结，并且将其出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量，该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。
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公开(公告)号：CN103858212B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280047608.9
申请日：2012-07-24
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481
Abstract: 本发明提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。本发明的气化器具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热该腔内；隔壁构造体(13)，其设于该腔内，并将该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部(20)，其设于隔壁构造体(13)的下部，以容许利用隔壁构造体(13)划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。
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公开(公告)号：CN102037423B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN200980118159.0
申请日：2009-03-10
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
Abstract: 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。
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公开(公告)号：CN101809712B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN200880109472.3
申请日：2008-07-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/455 , H01L21/285
CPC classification number: C23C16/455 , C23C16/45561 , C23C16/52
Abstract: 本发明涉及一种半导体制造设备用的气体供给装置，其基于有机金属气相生长法，具备向反应炉供给原料气体的主气体供给线和进行所述原料的排气的排出气体供给线，在两条气体线的中间部配设多个气体供给机构而构成，在该气体供给装置中，对比在压力式流量控制装置的孔下游侧检测的主气体供给线的气体(P10)和排出气体供给线的压力(P2)，由所述排出气体供给线的入口侧的压力控制装置进行压力调整，从而在原料气体的供给切换时使主气体供给线和排出气体供给线之间的两者的压力差为零。
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公开(公告)号：CN101208641B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200680023200.2
申请日：2006-06-22
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
Inventor： 大见忠弘 , 斋藤雅仁 , 日野昭一 , 岛津强 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永濑正明 , 杉田胜幸 , 平田薰 , 土肥亮介 , 广濑隆 , 筱原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
CPC classification number: G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1-P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102640070A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080054335.1
申请日：2010-08-02
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F1/363 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/7737 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
Abstract: 提供一种即使是温度为100℃～500℃的高温气体、也能够使用以往的温度检测器进行误差为1.0%F.S.以下的高精度的流量控制的高温气体用压力式流量控制装置。具有：阀身（VD），形成有流体通路（15、16）；阀部（V），夹设在流体通路中；阀驱动部（PE、21），驱动阀部（V）将流体通路开闭；节流机构，设在流体通路的阀部的下游侧；温度检测器（TC），检测阀部与节流机构之间的气体温度；压力检测器（P），检测阀部与节流机构之间的气体压力；运算控制装置，基于温度检测器及压力检测器的各检测值运算在节流机构中流通的气体流量并且控制阀驱动部；将温度检测器（TC）插装到从上述阀身的上表面侧朝向其内方穿设在阀部与节流机构之间的出口侧流体通路的正上方的位置处的安装孔内。
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公开(公告)号：CN100591959C
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200710142236.9
申请日：2003-12-18
CPC classification number: F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电-气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电-气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电-气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。
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公开(公告)号：CN101512202A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780032360.8
申请日：2007-08-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/524 , F16K1/00 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K41/10
CPC classification number: F16K31/04 , F16K7/16 , F16K31/52491
Abstract: 一种凸轮式阀，将包括步进马达以及凸轮机构的促动器沿上下方向微调而能够简单且容易地进行阀的零点调节。一种步进马达驱动型的凸轮式阀(1)，在具有流入通路(2a)、流出通路(2b)、阀室(2c)以及阀座(2d)的机身(2)内升降自如地配设轴杆(7)，利用促动器使上述轴杆(7)下降，所述促动器包括：配设于轴杆的上方位置的步进马达(9)以及将步进马达(9)的旋转运动变换为直线运动而向轴杆(7)传递的凸轮机构(10)，使配设在阀室(2c)内的膜片(3)或者设置在轴杆(7)的下端部的阀体(30)向阀座(2d)抵接，其特征在于，在覆盖上述机体(2)的阀室(2c)的阀盖(5)上设置升降自如地支承促动器的升降支承机构(11)，在该升降支承机构(11)上设置微调相对于轴杆(7)的促动器的高度位置的高度微调机构(12)。
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公开(公告)号：CN101484859A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780025188.3
申请日：2007-06-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , G01F15/022
Abstract: 在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
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公开(公告)号：CN101479681A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200780024501.1
申请日：2007-06-13
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0664 , Y10T137/85938 , Y10T137/87314 , Y10T137/87539
Abstract: 本发明提供一种流量比可变型流体供给装置，能够使对半导体制造装置用腔室的流量比可变型气体分流供给装置大幅地小型化和低成本化，并且能够简单且高精度地进行流量比的调整。一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q1、Q2向第1分流管路(1)和第2分流管路(2)分流，并将流量Q的气体从两分流管路(1、2)供给到腔室内，其中，在上述第1分流管路(1)上设置有开口面积S1的第1节流部(3)，另外将上述第2分流管路(2)作为并列状地连结多条分支管路(2a～2n)的管路，在上述各分支管路(2a～2n)上分别设置有开口面积S2a～S2n的节流部(4a～4n)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb～Vn)，通过该开闭阀(Vb～Vn)的开或闭来调整第2分流管路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o，从而以流量比Q1/Q2使流量Q的气体流向各分流管路(1、2)分流，所述流量比与上述第1分流回路(1)的第1节流部(3)和上述第2分流回路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o的比相等。
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