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公开(公告)号：CN111033430A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051417.7
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110382934A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015079.1
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/17 , F16K37/00
Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外，能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括：信息处理模块(5)，其设置在设备内；阀体(11)，其具有流路；致动器机体(12)，其固定于阀体(11)；壳体(13)，其为中空，固定于致动器机体(12)，并在侧面形成有贯通孔(133d)；活塞(126)，其设置在致动器机体(12)内，并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b)；以及导入管(21)，其为导入驱动压的管，一端插入至驱动压导入路(126b)，另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。
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公开(公告)号：CN110382934B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201880015079.1
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/17 , F16K37/00
Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外，能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括：信息处理模块(5)，其设置在设备内；阀体(11)，其具有流路；致动器机体(12)，其固定于阀体(11)；壳体(13)，其为中空，固定于致动器机体(12)，并在侧面形成有贯通孔(133d)；活塞(126)，其设置在致动器机体(12)内，并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b)；以及导入管(21)，其为导入驱动压的管，一端插入至驱动压导入路(126b)，另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。
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公开(公告)号：CN111448035A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201880079395.5
申请日：2018-12-03
Applicant: 日本肯耐克科技株式会社 , 株式会社富士金
IPC: B25B23/14 , G05B19/418
Abstract: 提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30)，扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定，当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。
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公开(公告)号：CN111213109A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201880066503.5
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明根据利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体的动作来诊断流体控制设备的异常。流体供给管线利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F、V1、V2)而构成，诊断流体供给管线的异常的方法包括：阀操作工序，将流量控制装置内阀(FV)、阀(V1)和阀(V2)中的任一个或多个阀打开或关闭；压力调整工序，使自阀(V1)经由流量控制装置至阀(V2)的流路(R1、R2)内的一部分或全部为真空状态或加压状态；压力检测工序，通过压力检测机构(P1、P2)来获取流量控制装置(F)的流路内随时间推移的压力特性；以及异常判定工序，将由压力检测机构(P1、P2)获取的异常诊断时的压力特性与在同一条件下预先测定的正常时的压力特性进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN111033104A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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