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公开(公告)号：CN111448035A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201880079395.5
申请日：2018-12-03
Applicant: 日本肯耐克科技株式会社 , 株式会社富士金
IPC: B25B23/14 , G05B19/418
Abstract: 提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30)，扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定，当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。
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公开(公告)号：CN111417809A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880076979.7
申请日：2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种组装有节流孔并且能够以低成本进行制造的阀装置。阀体(20)划定在阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部(50b2、50b3)、以及通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的贯通流路(50、16p)，在贯通流路(50、16p)形成有节流孔(16p)。
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公开(公告)号：CN111344510A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201880071291.X
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14)，隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通，阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2，50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a)，阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。
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公开(公告)号：CN111213109A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201880066503.5
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明根据利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体的动作来诊断流体控制设备的异常。流体供给管线利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F、V1、V2)而构成，诊断流体供给管线的异常的方法包括：阀操作工序，将流量控制装置内阀(FV)、阀(V1)和阀(V2)中的任一个或多个阀打开或关闭；压力调整工序，使自阀(V1)经由流量控制装置至阀(V2)的流路(R1、R2)内的一部分或全部为真空状态或加压状态；压力检测工序，通过压力检测机构(P1、P2)来获取流量控制装置(F)的流路内随时间推移的压力特性；以及异常判定工序，将由压力检测机构(P1、P2)获取的异常诊断时的压力特性与在同一条件下预先测定的正常时的压力特性进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN111201393A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201880063249.3
申请日：2018-09-04
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/16 , F16K31/524 , F16K31/60
Abstract: 本发明提供一种适用于小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置。手动阀装置具有内置驱动机构(50)的筒状的壳体(70)、用于使驱动机构(50)进行工作的操作构件(110)、以及将作用于该操作构件(110)的力转换为该驱动机构的驱动力的凸轮部(80)，该手动阀装置具有设于壳体(70)的上端侧并将操作构件(110)的至少局部覆盖的保护罩(100)，操作构件(110)具有安装部(110a)，用于使驱动机构(50)的工作所需的力作用于操作构件(110)的辅助工具(600)能够拆卸地安装于该安装部(110a)，保护罩(100)形成为能够使辅助工具(600)到达操作构件(110)的安装部(110a)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111033104A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN105556185B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201480044357.8
申请日：2014-07-31
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K7/17 , F16K7/14 , F16K27/0236
Abstract: 本发明提供一种可增加流量，而且能够抑制偏差的隔膜阀。在隔膜阀(1)中，使流入流体流入通路(2a)的流体经由设置在片材支架(5)上的贯通孔(22a)与流体流出通路(2b)连通。阀体(2)的凹处(2c)底面(13)中，支承片材(4)的片材承受面(13a)与支承片材支架(5)的片材支架承受面(13b)形成在同一平面。在阀体(2)的凹处(2c)底面上形成有与设置在片材支架(5)上的贯通孔(22a)相对的环状沟槽(14)。
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公开(公告)号：CN105473914A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480037151.2
申请日：2014-07-09
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可以大幅减少发生阀座泄漏的隔膜阀。在阀座(11)的顶部的径向中间部分形成有凹处(14)。阀座(11)的顶部的半径方向内侧部分(15)与隔膜(6)之间形成第一密封部(17)。阀座(11)的顶部的半径方向外侧部分(16)与隔膜(6)之间形成第二密封部(18)。凹处(14)的外周面(14b)为圆筒面。
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公开(公告)号：CN110998801B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201880051985.7
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置，该流体供给装置具有：冷凝器(130)，其用于使气态的流体冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体；以及加热部件(20)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路，用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。
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公开(公告)号：CN112119249A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201980032068.9
申请日：2019-07-16
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种在流体控制设备中即使流体的漏出微小的情况下也能够高精度地探测到漏出的技术。流体控制设备(V1)具有：阀主体(1)，形成有流路；隔膜(22)，将封闭空间(S2)从流路隔离；阀盖(24)，与隔膜(22)之间形成封闭空间(S2)，并且该阀盖设置有贯插孔(241a)，该贯插孔与封闭空间(S2)连通且供隔膜压件(23)能够上下移动地进行贯穿插入；隔膜压件(23)，在贯插孔(241a)内上下移动来按压隔膜(22)，并且设置有使得所述隔膜压件(23)不能从贯插孔(241a)拔出的扩径部(232)；压力传感器(P)，检测封闭空间(S2)内的压力；以及弹性体(6)，在封闭空间(S2)内夹设于隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间，伴随着隔膜压件(23)的上下移动而在隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间弹性地膨胀收缩。
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