公开(公告)号：CN113924435A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202080042313.7

申请日：2020-06-08

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 石桥圭介 ,  吉田俊英 ,  药师神忠幸 ,  山路道雄 ,  筱原努

IPC: F16K7/17 ,  F16K31/122 ,  F16K39/02

Abstract: 本发明提供不受高压用、高温用等用途制约而具有优异的耐久性能且能够抑制颗粒产生的控制阀。隔膜阀包括：阀体(2)，其形成有流体的流入通路(22)及流出通路(23)；阀座(25)，其形成于该阀体内的流入通路的周缘；隔膜(30)，其通过与该阀座抵接/分离来进行流入通路与流出通路的连通/截断；隔膜按压部(31)，其按压该隔膜的中央部；以及致动器(4)，其使该隔膜按压部移动，所述隔膜阀具有调节机构，该调节机构将所述阀座与所述隔膜之间的封闭压力调节为规定的压力。

公开(公告)号：CN110730869B

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201880037514.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/31

Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。

公开(公告)号：CN103620241B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201280023466.2

申请日：2012-03-06

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 筱原努 ,  松田隆博 ,  中田知宏 ,  山路道雄

IPC: F16B39/24 ,  F04B39/00 ,  F16K27/00

CPC classification number: F16L19/00 ,  F16B5/0241 ,  F16B5/0258 ,  F16B43/001 ,  F16K27/003

Abstract: 本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为，一旦将下层部件（2）固定后，使所需要的下层部件（2）以抵抗弹性部件（21）的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件（2）的上表面位置微调整。弹性部件（21）是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件（21）相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口（21a）、（21b）。

公开(公告)号：CN102265043A

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200980152480.0

申请日：2009-11-12

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 广濑隆 ,  筱原努 ,  吉田俊英 ,  执行耕平 ,  山路道雄

IPC: F15D1/02 ,  F16L55/00 ,  G01F1/00 ,  G01F1/42

CPC classification number: F16L23/20 ,  F15D1/025 ,  G01F1/40 ,  G01F1/42 ,  G05D7/0635

Abstract: 提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。

公开(公告)号：CN102037423A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200980118159.0

申请日：2009-03-10

Applicant: 株式会社富士金 ,  国立大学法人东北大学 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  永濑正明 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  广濑隆 ,  筱原努 ,  池田信一 ,  吉田俊英 ,  田中久士

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/00 ,  G01F1/42 ,  G01F7/00 ,  G05D16/20

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/42 ,  G01F7/005 ,  Y10T137/0379

Abstract: 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。

公开(公告)号：CN100591968C

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200680033313.0

申请日：2006-07-21

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 德田伊知郎 ,  山路道雄 ,  筱原努 ,  坪田宪士

IPC: F16L41/02 ,  F15B11/00 ,  F16K27/00

CPC classification number: F16K27/003 ,  F15B13/0817 ,  F15B13/0871 ,  F15B13/0892 ,  F16L41/021 ,  Y10T137/87885 ,  Y10T137/9029

Abstract: 本发明提供一种能够在不减小螺栓直径和通路直径的情况下实现小型化的流体控制装置。流体控制器(31)具有在管线方向上排列的入口端口(31a)和出口端口(31b)、以及在管线方向上位于入口端口(31a)和出口端口(31b)中间的管线间连接用端口(31c)，流体控制器(31)横跨在一对接头部件(7)上而被支承，在两个接头部件(7)的相对部分的上表面分别形成有台阶(7a)，构成管线间连接机构(8)的管线间连接用通路形成部件(9、10)横跨在上述接头部件(7)的台阶(7a)上而被支承，上述管线间连接用通路形成部件(9、10)具有与流体控制器(31)的管线间连接用端口(31c)连通的管线间通路(13、18)。

公开(公告)号：CN100439779C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200380101229.4

申请日：2003-10-31

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 德田伊知郎 ,  坪田宪士 ,  山路道雄 ,  筱原努

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K27/003 ,  Y10T137/87885

Abstract: 本发明提供一种管路间连接机构(50)，由下侧通路块(51)与多个上侧通路块(57)构成，所述下侧通路块(51)分别配置于被连接的各管路(B1、B2、B3)的上层的管路方向相同位置，且形成有管路间连接用通路(54)；所述上侧通路块(57)具有横向通路(58a)与向下通路(58b)，所述横向通路(58a)跨越被连接的各管路配置于下侧通路块(51)的上侧并在管路正交方向延伸，所述向下通路(58b)从横向通路延伸并连通到下侧通路块(51)的管路间连接用通路(54)。下侧通路块(51)由从上方伸下的螺栓可装拆地结合于下层连接构件，上侧通路块(57)由从上方伸下的螺栓可装拆地结合于下侧通路块(51)。

公开(公告)号：CN100402906C

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN200480042341.X

申请日：2004-10-29

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 筱原努 ,  山路道雄

IPC: F16K31/122

CPC classification number: F16K31/1262 ,  F16K31/165 ,  Y10T74/18992

Abstract: 一种控制器，其具有：传动装置(11)，其将施加于工作轴(6)的力对阀杆(4)放大并进行传递；缓慢启动装置(12)，其用于使阀杆缓慢地向上方移动。缓慢启动装置具有：活塞(8)，其可相对于工作轴上下移动；调压弹簧(44)，其被配置在设于工作轴的调压弹簧支座(43)与活塞之间；常开连通通道(47)和辅助连通通道(49)，其将压力室(10)与操作气体导入室(27)连通；流量调整阀(48)，其设于常开连通通道中；开关阀(50)，其设于辅助连通通道中，当活塞处于最下方位置时，开放该连通通道(49)；当其从该位置达到上升规定距离的辅助连通通道阻断位置时，关闭该连通通道(49)。

公开(公告)号：CN101208641A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200680023200.2

申请日：2006-06-22

Applicant: 株式会社富士金 ,  国立大学法人东北大学 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  斋藤雅仁 ,  日野昭一 ,  岛津强 ,  三浦和幸 ,  西野功二 ,  永濑正明 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  广濑隆 ,  筱原努 ,  池田信一 ,  今井智一 ,  吉田俊英 ,  田中久士

IPC: G05D7/00 ,  G01F1/42 ,  G01F1/00 ,  G01F7/00

CPC classification number: G05D7/0641 ,  G01F1/363 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6847 ,  G01F5/005 ,  G01F7/005 ,  G05D7/0635 ,  G05D7/0647 ,  G05D23/1927 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/776 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/86734 ,  Y10T137/86815 ,  Y10T137/87265 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/8741 ,  Y10T137/87499 ,  Y10T137/87684

Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1－P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。

公开(公告)号：CN101163913A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200680013237.7

申请日：2006-04-14

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 山路道雄 ,  筱原努 ,  德田伊知郎 ,  坪田宪士

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K27/003

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其通过减少零件数量从而降低成本以及使组装操作效率获得提高。该流体控制装置具有多个流体控制器(11，12，13，14，15)和支承部件(16)，上述多个流体控制器(11，12，13，14，15)具有形成通路的块状主体，上述支承部件(16)支承串联配置的多个流体控制器，支承部件(16)的两端部上设有突起部(18，19)，多个流体控制器的主体之间以其通路开口之间互相抵接的方式装载设置在支承部件(16)的突起部(18、19)之间，通过在任何一方的突起部(18)上旋入在长度方向上贯通该突起部(18)的主体固定用外螺纹部件(21)，在支承部件上固定多个流体控制器的主体(11，12a，13a，14a，15a)。