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公开(公告)号：CN115140702B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210723630.6
申请日：2022-06-23
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于高深宽比二氧化硅微纳结构的光学调制器的制备方法，包括：对硅晶圆正面进行刻蚀，形成硅微纳结构阵列；对硅晶圆背面进行刻蚀或腐蚀，完全释放出硅微纳结构阵列，同时在硅微纳结构阵列的外围形成支撑结构；对硅晶圆进行热氧化处理，将硅氧化为二氧化硅；在进行热氧化处理的硅晶圆表面沉积透明电极层；另取一块玻璃圆片，在玻璃圆片上加工出填充液出入口，并在玻璃圆片的一面沉积透明电极层；将玻璃圆片沉积有透明电极层的一面与二氧化硅微纳结构阵列外围的支撑结构进行键合，形成封闭腔体。本公开利用刻蚀结合热氧化工艺，实现了高深宽比的二氧化硅微纳结构阵列的制备，进而得到高深宽比的光学调制器。
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公开(公告)号：CN118852681A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410874469.1
申请日：2024-07-02
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开是一种多级纳米花状结构复合湿敏材料薄膜及其制备方法和应用。该制备方法包括：制备纳米花状结构PI；制备GOQDs/NH2‑mSiO2纳米微球复合结构；利用纳米花状结构PI与GOQDs/NH2‑mSiO2纳米微球复合结构制备多级纳米花状结构复合湿敏材料GOQDs/NH2‑mSiO2/PI；将多级纳米花状结构复合湿敏材料GOQDs/NH2‑mSiO2/PI分散在有机溶液中，均匀涂敷于晶圆表面，得到不同厚度的多级纳米花状结构复合湿敏材料薄膜。本公开通过复合纳米花状结构聚酰亚胺和氧化石墨烯量子点/氨基化介孔二氧化硅纳米微球，协同调控水分子的吸附能力与吸脱附效率，显著提高了湿敏材料的灵敏性，减小了湿敏材料的湿滞效应。
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公开(公告)号：CN114985022B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202210477661.8
申请日：2022-04-28
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 一种具有多环境参数的环境综合测试系统，包括压力腔、中空柱体、加热炉、振动台、压力控制系统和外部测试设备。压力腔设置于加热炉内部。加热炉为左右开合结构且底面设有通孔，固定于振动台之上，中空柱体穿过加热炉底面的通孔，振动台通过中空柱体驱动压力腔在加热炉的高温环境中做往复振动运动。压力腔底面设有待测对象的安装通道和压力输入通道，待测对象通过安装通道伸入压力腔内部，待测对象后端的信号传输线缆和压力输入导管穿过中空柱体内部，由中空柱体底部豁口引出，分别与外部测试设备和压力控制系统连接。利用本公开，能够模拟高温、压力、振动的单一或复合测试环境，有效验证待测对象在相应工况下的性能、稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN114716132B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202210221075.7
申请日：2022-03-08
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于纳米粉末制备玻璃的方法，包括：按照玻璃各组分的质量百分比准备纳米粉末原料；将准备好的纳米粉末原料加入烧杯中，加入去离子水混合均匀，然后将烧杯放入超声水槽中，使混合均匀的纳米粉末原料充分振荡，消除粉末间的团聚；将充分振荡的纳米粉末原料放入真空箱内，抽真空并保持真空环境一段时间；将纳米粉末原料从真空箱取出并填入耐高温样品选定区域，在高温管式炉内进行烧结，纳米粉末原料在高温管式炉内经软化、回流、冷却，形成块状玻璃。利用本公开，节省了自制玻璃粉末的过程，缩短了制备时间，提高了制备效率，同时保障了粉末粒径的一致性，有效地解决了现有技术中存在的工艺过程耗时长等问题。
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公开(公告)号：CN115140702A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210723630.6
申请日：2022-06-23
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于高深宽比二氧化硅微纳结构的光学调制器的制备方法，包括：对硅晶圆正面进行刻蚀，形成硅微纳结构阵列；对硅晶圆背面进行刻蚀或腐蚀，完全释放出硅微纳结构阵列，同时在硅微纳结构阵列的外围形成支撑结构；对硅晶圆进行热氧化处理，将硅氧化为二氧化硅；在进行热氧化处理的硅晶圆表面沉积透明电极层；另取一块玻璃圆片，在玻璃圆片上加工出填充液出入口，并在玻璃圆片的一面沉积透明电极层；将玻璃圆片沉积有透明电极层的一面与二氧化硅微纳结构阵列外围的支撑结构进行键合，形成封闭腔体。本公开利用刻蚀结合热氧化工艺，实现了高深宽比的二氧化硅微纳结构阵列的制备，进而得到高深宽比的光学调制器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114985022A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210477661.8
申请日：2022-04-28
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 一种具有多环境参数的环境综合测试系统，包括压力腔、中空柱体、加热炉、振动台、压力控制系统和外部测试设备。压力腔设置于加热炉内部。加热炉为左右开合结构且底面设有通孔，固定于振动台之上，中空柱体穿过加热炉底面的通孔，振动台通过中空柱体驱动压力腔在加热炉的高温环境中做往复振动运动。压力腔底面设有待测对象的安装通道和压力输入通道，待测对象通过安装通道伸入压力腔内部，待测对象后端的信号传输线缆和压力输入导管穿过中空柱体内部，由中空柱体底部豁口引出，分别与外部测试设备和压力控制系统连接。利用本公开，能够模拟高温、压力、振动的单一或复合测试环境，有效验证待测对象在相应工况下的性能、稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN113405946A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110682858.0
申请日：2021-06-18
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G01N11/16
Abstract: 本公开提供了一种微机电谐振式粘度传感器，包括依次键合连接的第一液体接触膜、SOI组合体和第二液体接触膜，第一液体接触膜与第二液体接触膜关于SOI组合体镜像对称，SOI组合体包括谐振器，第一液体接触膜具有第一薄膜，第二液体接触膜具有第二薄膜，第一薄膜与第二薄膜的中心通过刚性体连接于谐振器的中心；第一薄膜与第二薄膜之间形成有真空腔体，谐振器位于真空腔体内，谐振器在驱动力作用下带动第一薄膜与第二薄膜沿着垂直于薄膜平面的方向谐振工作。利用本公开，粘度变化与谐振能量损耗的转换过程简单，有利于提高粘度的检测灵敏度，降低后端算法处理难度，提高传感器的输出精度，并且使得传感器的量程有大幅提升。
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公开(公告)号：CN109928359B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201910231599.2
申请日：2019-03-25
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种微结构封装方法，包括：在单晶硅圆片上表面刻蚀出导电硅柱和硅凹槽，硅凹槽底部与单晶硅圆片背面之间剩余的单晶硅材料为微结构功能层；将玻璃粉末填充至硅凹槽内；以玻璃粉末软化点以上的温度，高温烧结玻璃粉末，形成玻璃体；在单晶硅圆片背面刻蚀出包含功能结构和电学连接结构的微结构和边框；盖帽与边框通过键合工艺粘接，将微结构密闭封装；以及在导电硅柱上沉积金属电极，实现与外部电路的欧姆接触。
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公开(公告)号：CN117630254A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311609834.8
申请日：2023-11-29
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于玻璃热回流工艺的高深宽比微色谱柱及其制备方法。该方法包括：在硅晶圆表面制备硅凹槽，采用玻璃回流工艺在硅凹槽中热回流填充熔融态的玻璃，冷却后对玻璃回流后上表面进行平坦化，并对硅晶圆背面进行减薄和刻蚀，清除硅材料，形成玻璃通道；对硅晶圆表面进行光刻和深反应离子刻蚀，形成硅通道；将玻璃通道和硅通道对准进行阳极键合，得到高深宽比微色谱柱。利用本公开，玻璃通道是采用热回流工艺将玻璃晶圆经高温软化和熔融回流至硅晶圆经刻蚀后的硅结构内一体成形的，无需刻蚀或腐蚀玻璃，玻璃通道成形质量高，且玻璃通道易于加工成型，有效地降低了加工难度，是高深宽比微色谱柱工艺实现的有效途径。采用硅‑玻璃阳极键合技术，键合难度大大降低，易于实现。
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公开(公告)号：CN114877938B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210517465.9
申请日：2022-05-12
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于洞窟空气颗粒物的监测元件及装置，包括温湿度监测单元，对洞窟空气颗粒物的湿度和颗粒物浓度检测环境的温度进行实时监测，并发送空气湿度数据和检测温度数据至数据处理单元；除湿单元，根据空气湿度数据对洞窟空气颗粒物进行除湿处理，维持颗粒物浓度检测环境；激光检测单元，在颗粒物浓度检测环境中，对颗粒物进行浓度检测，并发送浓度数据至数据处理单元；数据处理单元，获取与检测温度对应的修正系数，进行浓度数据的处理得到修正浓度数据，同时根据空气湿度数据控制除湿单元的启停。本公开可实现石窟寺类洞窟微环境空气颗粒物的实时、高精度监测需求，具备安装便携、数据可远传的功能。
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