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公开(公告)号：CN116007503A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211314696.6
申请日：2022-10-26
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开一种基于偏振分束光栅的干涉位移测量装置，包括光源组件、光路组件、光电接收模块和信号处理模块；光源组件用以产生测量光束；光路组件包括第一反射棱镜、反射式光栅、第二反射棱镜、第三反射棱镜和偏振分束光栅；光源组件发出测量光束到第一反射棱镜，第一反射棱镜用以将测量光束反射至反射式光栅，反射式光栅将测量光束分为第一衍射光和第二衍射光，第一衍射光和第二衍射光分别反射到第二反射棱镜和第三反射棱镜，第二反射棱镜和第三反射棱镜用以将第一衍射光和第二衍射光调整后入射到偏振分束光栅上；光电接收模块与信号处理模块电信连接，信号处理模块用以对第一拍频信号和第二拍频信号进行差分计算，计算出位移。
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公开(公告)号：CN115165915A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210787373.2
申请日：2022-07-06
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种光栅缺陷检测装置及检测方法，其中，缺陷检测装置包括单色光源模块、图像采集模块、XZ二维位移平台及光栅夹具模块以及保护壳。图像采集模块包采用CMOS相机，同时包括高低分辨率光学镜头可根据需求替换；XZ二维移动平台在X轴Z轴方向受控的移动扫描光栅，实现XZ面扫面；图像采集模块与图像处理模块电讯连接,通过图像处理算法对获取的光栅表面图像进行尺寸和瑕疵的量检测；光栅夹具模块垂直固定大尺寸光栅。其中，光栅检测装置采用暗场成像原理以及单色光源，避免光栅镜面成像以及衍射产生彩色光斑，并且机械结构简单紧凑,能根据待测件的宽幅可调的模块化设置。本发明提高了大尺寸光栅表面瑕疵检测的准确度和效率。
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公开(公告)号：CN112034545B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202011045243.9
申请日：2020-09-29
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种二维孔洞阵列光栅及光栅尺位移测量系统，该光栅由上至下由顶层Ta2O5介质材料构成二维圆形孔洞结构光栅层、SiO2介质缓冲层、Ag金属层和基底构成光栅结构；所述的顶层二维结构介质光栅层为对称排放的二维圆柱形孔洞或圆台孔洞型阵列结构。本发明的偏振无关多层金属介质二维孔洞阵列光栅可以使TE和TM两种偏振模式的入射光以利特罗角(Littrow)入射时，(‑1，0)级反射衍射效率在中心波长780纳米波长高于98％，且两个偏振态之间的效率差异小于0.3％，衍射效率平衡达到99.74％，实现对偏振无关入射光的高效率衍射，同时制作容宽大，方便制作。
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公开(公告)号：CN114609794A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210184032.6
申请日：2022-02-24
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种正入射条件下基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器，单个周期的光栅结构由顶层金属材料构成二维结构光栅层、金属层、基底层构成；顶层的二维结构光栅层为对称排放的二维圆柱或圆台阵列结构。本发明公开的金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器使得TE偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时，衍射能量主要集中于(0,‑1)阶和(0,1)阶反射衍射级次，且能量大于45％；TM偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时，衍射能量主要集中于(‑1,0)阶和(1,0)阶反射衍射级次，且能量大于45％，实现对光的偏振态正交分解，同时制作容宽大，方便制作。
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公开(公告)号：CN111207696A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010047782.X
申请日：2020-01-16
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种横向旋转组合达曼光栅的三维测量模组及工作方法，产生用于三维成像与测量的交错的环形高密度点阵化结构光，该测量模组由激光器及扩束器的集成元件、准直透镜、由四块不同分束比的横向旋转组合达曼光栅构成的分束装置、物镜依次封装构成。激光器发出的激光，该激光束经准直透镜准直后，由四块达曼光栅分光后，通过四块二维达曼光栅来产生四个非交错点阵进行横向旋转组合，进而由物镜投射出三维测量与成像所需的交错的投射点阵。该测量模组具有结构简单易实现，输出点阵密度高，投射点阵边缘交错，以及便于集成到移动设备的优点。这种技术有可以降低移动式和固定式3D传感器中结构光投影仪的复杂性，光学元件数量，功耗和成本。
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公开(公告)号：CN109341581A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811285843.5
申请日：2018-10-31
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种横向奇偶组合达曼光栅的三维测量模组及工作方法，产生用于三维成像与测量的交错的点阵化结构光，该测量模组由激光器及扩束器的集成元件、准直透镜、分离的两块不同分束比的达曼光栅或者是在一个基底相邻的两个区域内分别刻蚀不同分束比的横向奇偶组合达曼光栅、物镜等主要器件依次封装构成。激光器发出的激光，经准直透镜准直后，由分离的两块不同分束比的达曼光栅或者是在一个基底相邻的两个区域内分别刻蚀不同分束比的达曼光栅分光后，将两块二维达曼光栅来产生两个非交错点阵进行组合，进而由物镜投射出三维测量与成像所需的交错的平铺点阵。该测量模组具有结构简单易实现以及便于集成到移动设备的优点。
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公开(公告)号：CN115164733B
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202210776991.7
申请日：2022-07-04
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015
Abstract: 本发明公开了一种基于皮米光梳的皮米测量系统及方法，该测量方法过程如下：激光器发出的光经过分束器分成两束光，每束光均依次通过反射镜、显微物镜、针孔滤波器和准直透镜产生准直扩束的光场；两束光产生的光场汇聚在干涉平面上，产生周期为d的干涉场；将一块全息干板放置在干涉平面上进行第一次曝光；加载皮米尺度的位移信息Δd引起干涉场的周期变化；将全息干板进行第二次曝光，得到皮米光梳。利用皮米光梳的轴向莫尔效应：使用准直扩束的平面波照射皮米光梳，将会产生莫尔干涉条纹。通过光电探测器采集莫尔干涉条纹，计算出莫尔干涉条纹额周期T。最后通过公式反推出待测的皮米尺度的信息Δd。
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公开(公告)号：CN115097558B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202210709648.0
申请日：2022-06-22
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开一种基于高折射率材料的‑2级倾斜光栅，包括光波导层和光栅层，所述光波导层和光栅层采用折射率为1.71的树脂材料制成，所述光栅层倾斜设置。倾斜光栅的光栅周期为980～992纳米，占空比为0.74～0.76，光栅深度为1475～1490纳米，倾斜角为26～27°。TE偏振光垂直入射时，可以实现中心波长620纳米‑2级衍射效率高于80％。本发明还公开了一种基于高折射率材料的‑2级倾斜光栅在近眼显示设备上的应用，适用于AR、VR近眼显示设备，取材方便，加工简单，具有重要的实用前景。
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公开(公告)号：CN117331160A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311313319.5
申请日：2023-10-11
Applicant: 暨南大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种基于圆柱结构的1x2透射式偏振无关二维倾斜光栅，包括：圆柱结构，圆柱结构包括相互连接的第一介质层和第二介质层，第一介质层和第二介质层均为圆柱体，第一介质层和第二介质层沿X轴方向和Y轴方向同时倾斜，X轴和Y轴在同一平面内相互垂直，第一介质层和第二介质层沿X轴方向的倾角与第一介质层和第二介质层沿Y轴方向的倾角α相等；基底层，所述基底层与所述第一介质层连接。在TE和TM两种模式下的入射光以正入射条件入射时，其可以同时满足(‑1，0)和(0，‑1)级次的高衍射效率。在429nm‑468nm范围内，(‑1，0)阶衍射效率和(0，‑1)阶衍射效率均超过35％，两级次最高衍射效率之和达到78％，实现了在两个正交平面内的分束效果。
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