公开(公告)号：CN101405655B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN200780009349.X

申请日：2007-03-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 江里口武 ,  山本弘贤 ,  鹤冈薰

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/025 ,  G03F7/325 ,  G03F7/40 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/117 ,  Y10T428/24612

Abstract: 本发明提供兼具低比介电常数、低吸水率、高耐热性、高生产性的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。所述组合物是包含下述含氟芳香族预聚物、感光剂、溶剂的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。在这里，含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少任一方、以下述式表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×103～5×105；式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf1和Rf2分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。

公开(公告)号：CN102066443A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123597.6

申请日：2009-06-18

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 伊藤昌宏 ,  江里口武 ,  石桥雄一郎 ,  鹤冈薰 ,  阿部岳文

IPC: C08F290/06 ,  C08G65/40

CPC classification number: C08G65/4006 ,  C08F259/08 ,  C08F283/06 ,  C08F283/085 ,  C08F290/062 ,  C08L71/00 ,  C09D4/06 ,  C08F220/26 ,  C08L2666/04

Abstract: 本发明提供可获得介电常数低且成膜时的埋入平坦性良好的固化性组合物。该固化性组合物包含具备交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)和分子量为140～5000、含交联性官能团但不含氟原子的化合物(B)。

公开(公告)号：CN101405655A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200780009349.X

申请日：2007-03-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 江里口武 ,  山本弘贤 ,  鹤冈薰

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/025 ,  G03F7/325 ,  G03F7/40 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/117 ,  Y10T428/24612

Abstract: 本发明提供兼具低比介电常数、低吸水率、高耐热性、高生产性的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。所述组合物是包含下述含氟芳香族预聚物、感光剂、溶剂的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。在这里，含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y－1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y－2)中的至少任一方、以上述式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×103～5×105；式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf1和Rf2分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。