光学滤波器及其制造方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114514448A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202080066290.3

    申请日:2020-12-03

    Abstract: 本发明提供一种可减小光的入射角依赖性的光学滤波器。该光学滤波器(1)具有氢化硅膜(4),在通过拉曼光谱法测定的氢化硅膜(4)的拉曼光谱中,根据由SiH引起的峰的面积与由SiH2引起的峰的面积之比求出的比(SiH/SiH2)在0.7以上。

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