公开(公告)号：CN101538716A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200910132574.3

申请日：2001-02-23

Applicant: 关东化学株式会社 ,  恩益禧电子股份有限公司

Inventor： 青木秀充 ,  渡边香织 ,  石川典夫 ,  森清人

IPC: C23F1/30 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明提供一种含钌金属的去除剂及其使用方法，该去除剂包括(a)硝酸铈(IV)盐和(b)选自硝酸、高氯酸和乙酸构成的组中的至少一种酸。

公开(公告)号：CN101538716B

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200910132574.3

申请日：2001-02-23

Applicant: 关东化学株式会社 ,  瑞萨电子株式会社

Inventor： 青木秀充 ,  渡边香织 ,  石川典夫 ,  森清人

IPC: C23F1/30 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明提供一种含钌金属的去除剂及其使用方法，该去除剂包括(a)硝酸铈(IV)盐和(b)选自硝酸、高氯酸和乙酸构成的组中的至少一种酸。

公开(公告)号：CN100491594C

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN01104252.4

申请日：2001-02-23

Applicant: 关东化学株式会社 ,  恩益禧电子股份有限公司

Inventor： 青木秀充 ,  渡边香织 ,  石川典夫 ,  森清人

IPC: C23F1/30

Abstract: 本发明提供一种去除剂，该去除剂包括(a)硝酸铈(IV)盐和(b)选自硝酸、高氯酸和乙酸构成的组中的至少一种酸。