公开(公告)号：CN101400826A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：CN200780009115.5

申请日：2007-03-15

Applicant: 日本帕卡濑精株式会社

Inventor： 宫崎雅矢 ,  林洋树 ,  村上邦佳

IPC: C23C22/34

CPC classification number: C23C22/44 ,  B32B15/08 ,  B32B15/14 ,  B32B15/20 ,  B32B27/04 ,  B32B27/06 ,  B32B27/34 ,  B32B27/38 ,  C23C22/34 ,  H05K3/383 ,  H05K2203/0796 ,  H05K2203/121

Abstract: 提供铜材料用表面处理液、表面处理方法、及采用该方法在铜材料表面形成的表面处理被膜。铜材料用表面处理液，其特征在于，含有：铜的氧化蚀刻剂、包含选自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一种金属元素的化合物和作为HF供给源的含氟化合物；表面处理方法，其特征在于，将铜和铜合金原材料浸渍到上述处理液中；表面处理被膜，其特征在于，所述被膜是采用上述表面处理方法在铜及铜合金上形成的，含有选自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一种金属元素、Cu、O和F；层合构件，其特征在于，含有表面处理被膜的铜原材料和树脂层介由表面处理被膜相接合。