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公开(公告)号:CN1922494A
公开(公告)日:2007-02-28
申请号:CN200580004158.5
申请日:2005-02-04
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/06722 , G01R1/06738 , G01R1/07314 , H01R13/2421 , H01R2201/20
Abstract: 第一针状部件(13)由金属材料等导电性材料形成,其具有以下结构:上下方向成为长度方向的柱状部(13a)、和相对柱状部(13a)形成于半导体集成电路(1)(被接触体)侧的接触部(13b)一体式形成。在柱状部(13a),在第一针状部件(13)的长度方向形成有贯通孔(13d),贯通孔(13d)在接触部(13b)侧也具有开口端,由于具有这样的结构,因此在制作针状部件(13)时,能够使对作为原料的杆状体形成接触部(13b)时的加工方向、和形成贯通孔(13d)时的钻头插入方向成为相同的方向,能够容易地制作针状部件。