公开(公告)号：CN103367084B

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201310110403.7

申请日：2013-04-01

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 希尔顿·F·格拉维斯 ,  土肥正二郎 ,  本杰明·托马斯·金

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/1475 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1523 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明涉及用于带形离子束的离子束弯曲磁体。本发明提供适合于容纳且弯曲带形离子束的改进的弯曲磁体，所述带形离子束的横截面轮廓具有垂直于弯曲磁体的弯曲平面的主尺寸。离子束弯曲磁体提供了通过磁体的弯曲的路径以用于将带形离子束弯曲，所述带形离子束具有其垂直于磁体的弯曲平面的主横截面尺寸。磁体包括铁磁性轭，所述铁磁性轭围绕束路径且具有由四个成角度的边形成的横截面内轮廓。这些边与通过磁体的带形束的主尺寸成角度，使得轭的内轮廓在带形束的中心中相对宽而在带形束的顶部和底部边缘附近相对窄。靠着轭的内表面的电导体提供了沿轮廓的成角度的边的每单位长度均匀分布的电流，从而在磁体轭内提供了大体上均匀的磁性弯曲场。

公开(公告)号：CN102683144B

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201110306371.9

申请日：2011-10-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 井内裕 ,  土肥正二郎

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/32 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。

公开(公告)号：CN103367084A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310110403.7

申请日：2013-04-01

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 希尔顿·F·格拉维斯 ,  土肥正二郎 ,  本杰明·托马斯·金

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/1475 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1523 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明涉及用于带形离子束的离子束弯曲磁体。本发明提供适合于容纳且弯曲带形离子束的改进的弯曲磁体，所述带形离子束的横截面轮廓具有垂直于弯曲磁体的弯曲平面的主尺寸。离子束弯曲磁体提供了通过磁体的弯曲的路径以用于将带形离子束弯曲，所述带形离子束具有其垂直于磁体的弯曲平面的主横截面尺寸。磁体包括铁磁性轭，所述铁磁性轭围绕束路径且具有由四个成角度的边形成的横截面内轮廓。这些边与通过磁体的带形束的主尺寸成角度，使得轭的内轮廓在带形束的中心中相对宽而在带形束的顶部和底部边缘附近相对窄。靠着轭的内表面的电导体提供了沿轮廓的成角度的边的每单位长度均匀分布的电流，从而在磁体轭内提供了大体上均匀的磁性弯曲场。