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公开(公告)号:CN107408877A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201680017695.1
申请日:2016-03-24
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 提供一种不使用背侧磁轭就能够实现较高的磁通量的稀土类磁体和将稀土类永磁体使用于可动元件的线性马达。形成该永磁体的稀土类永磁体形成用烧结体是一体地烧结成形为具有长度方向截面形状的预定的立体形状而成的,该长度方向截面形状具有:第1表面,其沿着长度方向延伸;第2表面,其位于在厚度方向上与该第1表面隔开间隔的位置,并沿着长度方向延伸;以及长度方向两端部的端面。该烧结体的中央区域所含有的磁体材料粒子的易磁化轴被取向为沿着拱形状路径指向。另外,在第1端部区域中,磁体材料粒子的易磁化轴被取向为沿着从第1表面进入烧结体的内部并朝向第2表面的路径指向。在第2端部区域中,磁体材料粒子的易磁化轴被取向为沿着从第2表面进入烧结体的内部并朝向第1表面的路径指向。
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公开(公告)号:CN115398028A
公开(公告)日:2022-11-25
申请号:CN202180025338.0
申请日:2021-03-26
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: C23C14/35 , H01L21/3205 , H01L21/768
Abstract: 磁控溅射成膜装置(1)具备成膜辊(10)和磁体单元(18)。磁体单元(18)具备旋转靶(17)和磁体单元(18)。磁体单元(18)相邻地具备第1磁极部(21)和第2磁极部(22)。第1磁极部依次具有第1区域(23)、第2区域(24)、以及第2区域(24)。这些区域各自具有作为磁化方向的分解分量而得到的第1分量和第2分量中的至少一个。在第1区域(23)和第3区域(25)中,第1分量比第2分量大,它们是反向的。在第2区域(24)中,第1分量比第2分量小。
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公开(公告)号:CN107430935A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201680017831.7
申请日:2016-03-24
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor: 藤川宪一 , 久米克也 , 大内一男 , 星野利信 , 森本政和 , 大野博文 , 中林克之 , 山口美穗 , 松尾洋 , 奥野利昭 , 藤原诚 , 井本荣一 , 江部宏史 , 大牟礼智弘 , 尾关出光 , 山本贵士 , 加藤有树 , 松田知也 , 齐藤正一朗
Abstract: 本发明提供一种具有任意的形状、且对任意的多个区域内的磁体材料粒子赋予了各自不同的方向的易磁化轴的取向的单一烧结构造的、稀土类永磁体形成用烧结体的制造方法。在该方法中,利用混合含有稀土类物质的磁体材料粒子和树脂材料而形成的复合材料形成立体形状的第1成形体。一边将该第1成形体维持在比该树脂的软化温度高的温度,一边对第1成形体施加具有平行磁通的平行外部磁场,从而使磁体材料粒子的易磁化轴与该外部磁场的方向平行地取向,通过对该第1成形体施加该第1成形体中的横向截面的至少一部分的形状在该横向截面内变化那样的变形力,形成该横向截面的至少一部分中的磁体材料粒子的易磁化轴的取向方向变更成与第1成形体中的取向方向不同的取向方向的第2成形体。该第2成形体被加热成烧结温度,维持在该烧结温度预定时间。该第2成形体内的树脂被蒸腾,磁体材料粒子彼此被烧结而形成烧结体。
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公开(公告)号:CN107408854A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201680017887.2
申请日:2016-03-24
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 提供一种在永磁体埋入型电动马达那样的旋转机中、即使带来消磁作用的外部磁场作用于所埋入的永磁体也不产生性能降低的永磁体。公开一种含有稀土类物质的磁体材料粒子烧结成形成一体而成的稀土类永磁体形成用烧结体和通过对该烧结体进行磁化而获得的稀土类永磁体、以及埋入有该磁体的旋转机。稀土类永磁体形成用烧结体被划分成宽度方向的中央区域以及位于该中央区域的两侧的第1端部区域和第2端部区域。在中央区域中,该中央区域所含有的磁体材料粒子的易磁化轴在相对于沿着宽度方向延伸的烧结体部分的一表面实质上呈直角的方向上取向,在第1端部区域和第2端部区域的一个或两个中,该区域所含有的磁体材料粒子在以易磁化轴指向该一表面的磁体材料粒子的密度比中央区域中的磁体材料粒子的密度高的方式会聚的方向上取向。在由该稀土类永磁体形成用烧结体形成的磁体中,端部区域的磁通密度比中央区域的磁通密度高,由消磁导致的性能降低被抑制。
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公开(公告)号:CN115398028B
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202180025338.0
申请日:2021-03-26
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: C23C14/35 , H01L21/3205 , H01L21/768
Abstract: 磁控溅射成膜装置(1)具备成膜辊(10)和磁控等离子体单元(11)。磁控等离子体单元(11)具备旋转靶(17)和磁体单元(18)。磁体单元(18)相邻地具备第1磁极部(21)和第2磁极部(22)。第1磁极部依次具有第1区域(23)、第2区域(24)、以及第3区域(25)。这些区域各自具有作为磁化方向的分解分量而得到的第1分量和第2分量中的至少一个。在第1区域(23)和第3区域(25)中,第1分量比第2分量大,它们是反向的。在第2区域(24)中,第1分量比第2分量小。
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公开(公告)号:CN110612580B
公开(公告)日:2023-02-28
申请号:CN201880030265.2
申请日:2018-05-08
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供一种不增大磁体单元的大小、重量、而可以仅在厚度方向上的一面产生具有在实际使用上有用的表面磁通密度的磁束的稀土类烧结磁体等。一种稀土类烧结磁体,其具有将含有稀土类物质、且各自具有易磁化轴的多个磁体材料粒子一体烧结而成的结构。其具备在厚度方向上对置的第1面和第2面,在与宽度方向及厚度方向平行的平面内,以在从所述宽度方向的两端部的各个端部朝向所述宽度方向的中央部的区域、易磁化轴的取向方向逐渐变化的方式,对磁体材料粒子进行磁化。第1面的最大表面磁通密度与第2面的最大表面磁通密度满足(D1/D2)≥4的关系。易磁化轴的取向方向可以在宽度方向的两端部的各个端部与宽度方向的中央部相差90°±5°、或180°±5°。
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公开(公告)号:CN107430935B
公开(公告)日:2020-03-03
申请号:CN201680017831.7
申请日:2016-03-24
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor: 藤川宪一 , 久米克也 , 大内一男 , 星野利信 , 森本政和 , 大野博文 , 中林克之 , 山口美穗 , 松尾洋 , 奥野利昭 , 藤原诚 , 井本荣一 , 江部宏史 , 大牟礼智弘 , 尾关出光 , 山本贵士 , 加藤有树 , 松田知也 , 齐藤正一朗
Abstract: 本发明提供一种具有任意的形状、且对任意的多个区域内的磁体材料粒子赋予了各自不同的方向的易磁化轴的取向的单一烧结构造的、稀土类永磁体形成用烧结体的制造方法。在该方法中,利用混合含有稀土类物质的磁体材料粒子和树脂材料而形成的复合材料形成立体形状的第1成形体。一边将该第1成形体维持在比该树脂的软化温度高的温度,一边对第1成形体施加具有平行磁通的平行外部磁场,从而使磁体材料粒子的易磁化轴与该外部磁场的方向平行地取向,通过对该第1成形体施加该第1成形体中的横向截面的至少一部分的形状在该横向截面内变化那样的变形力,形成该横向截面的至少一部分中的磁体材料粒子的易磁化轴的取向方向变更成与第1成形体中的取向方向不同的取向方向的第2成形体。该第2成形体被加热成烧结温度,维持在该烧结温度预定时间。该第2成形体内的树脂被蒸腾,磁体材料粒子彼此被烧结而形成烧结体。
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公开(公告)号:CN108352768B
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201680067820.X
申请日:2016-11-17
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 在使端面对接而配置有多个磁体的磁体中,使得端面间间隙位置处的表面磁通分布成为正弦波形状。一种稀土类磁体形成用烧结体,其是立体形状的、由含有稀土类物质的磁体材料颗粒的一体烧结结构构成,所述立体形状具有由第1曲率半径的半径方向外侧圆弧状表面、以比该第1曲率半径小的第2曲率半径具有与该外侧圆弧状表面同心的圆弧形状的半径方向内侧圆弧状表面、和作为沿着从该圆弧形状的圆中心延伸的假想半径线的半径方向面的第1端面及第2端面构成的形状的横截面,且具有与该横截面呈直角方向的轴向长度。外侧及内侧圆弧状表面分别具有与角度范围2ω对应的圆周方向长度,所述角度范围2ω是分别规定第1及第2端面的2根假想半径线所成的角度范围。磁体材料的易磁化轴按照如下方式进行取向:在将圆中心与外侧圆弧状表面的圆周方向中心点连结的中心半径线上,沿着该中心半径线向半径方向外向取向,在去除被定义为从第1及第2端面到角度范围εω为止的区域的端部区域而得到的中央区域2(1‑ε)ω中,在位于与中心半径线呈角度θ的位置的任意的半径线上的位置,沿着相对于该任意的半径线从半径方向外向的方向朝向所述中心半径线的方向仅旋转了角度Φ的方向取向,在端部区域中,沿着比角度Φ朝向半径方向外向进一步旋转了5°以上的方向取向。其中,ε为0.1≤ε≤0.6,角度Φ为由式Φ=(90°‑d)·θ/ω规定的角度,d是规定为0°
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公开(公告)号:CN108352768A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201680067820.X
申请日:2016-11-17
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 在使端面对接而配置有多个磁体的磁体中,使得端面间间隙位置处的表面磁通分布成为正弦波形状。一种稀土类磁体形成用烧结体,其是立体形状的、由含有稀土类物质的磁体材料颗粒的一体烧结结构构成,所述立体形状具有由第1曲率半径的半径方向外侧圆弧状表面、以比该第1曲率半径小的第2曲率半径具有与该外侧圆弧状表面同心的圆弧形状的半径方向内侧圆弧状表面、和作为沿着从该圆弧形状的圆中心延伸的假想半径线的半径方向面的第1端面及第2端面构成的形状的横截面,且具有与该横截面呈直角方向的轴向长度。外侧及内侧圆弧状表面分别具有与角度范围2ω对应的圆周方向长度,所述角度范围2ω是分别规定第1及第2端面的2根假想半径线所成的角度范围。磁体材料的易磁化轴按照如下方式进行取向:在将圆中心与外侧圆弧状表面的圆周方向中心点连结的中心半径线上,沿着该中心半径线向半径方向外向取向,在去除被定义为从第1及第2端面到角度范围εω为止的区域的端部区域而得到的中央区域2(1-ε)ω中,在位于与中心半径线呈角度θ的位置的任意的半径线上的位置,沿着相对于该任意的半径线从半径方向外向的方向朝向所述中心半径线的方向仅旋转了角度Φ的方向取向,在端部区域中,沿着比角度Φ朝向半径方向外向进一步旋转了5°以上的方向取向。其中,ε为0.1≤ε≤0.6,角度Φ为由式Φ=(90°-d)·θ/ω规定的角度,d是规定为0°
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公开(公告)号:CN108141075A
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:CN201680055818.0
申请日:2016-09-16
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供一种绝缘层被配置在能够最有效地使涡流降低的位置的永磁体单元。永磁体单元包含至少1个绝缘层和隔着该至少1个绝缘层彼此相邻地配置的多个永磁体片。至少1个绝缘层配置在如下位置,即根据随着多个永磁体片未隔着该至少1个绝缘层而是形成为一体的永磁体的磁场的变化而在该永磁体的内部流动的涡流的大小来决定出的位置。
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