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公开(公告)号:CN205139624U
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201520879611.8
申请日:2015-11-06
IPC: G05B19/042 , H01J37/317
CPC classification number: Y02P90/265
Abstract: 本实用新型提供一种适用低能等离子注入机无线智能控制的系统装置,包括工控电脑、工控柜、工控电脑操作台。所述工控柜内部分布安装空气开关组件、继电器组件、单片机组件、数据采样模块组件、无线通信模块组件、智能主控系统板组件和开关电源;工控电脑作为上位机其上方设置有人机交互显示器,用于显示人机交互界面,工控电脑下部设置的工控电脑操作台,通过与人机交互显示器联用,工作人员用于操作控制工控电脑处理工控柜传来的数据。该系统装置使低能等离子注入机的操作流程变得简洁,通过采用单片机设计的控制系统,初步实现数字化的需求,具有广泛的实用性。