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公开(公告)号：CN107819448B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201710897205.8
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明公开一种频率可调声表面波谐振器，包括压电基片(1)、依次叠合在压电基片(1)之上的金属结构层、中间介质层和电压调控电极层；所述金属结构层包括叉指换能器(2)、分置于叉指换能器(2)两侧的第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)；所述金属结构层的叉指换能器(2)通过高频输入电极(41)和高频输出电极(42)与外界电路相连，通过直流接地电极(45)接地，通过直流偏置电极(44)与调节谐振频率的直流偏置电源相连，所述第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)均通过各自的高频接地电极(43)和直流接地电极(45)接地。本发明的频率可调声表面波谐振器,频率调节灵活、方便。
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公开(公告)号：CN111323616A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN202010135124.6
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面四边的空腔基板底面键合环与底板顶面四边的底板键合环金金键合，悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面四边的空腔基板顶面键合环金硅键合，使各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面四边的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用单质量块惯性敏感方式和平面平行板电容检测方式，总体结构简单、制备过程简便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN111289772A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010135345.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；底板与空腔结构层通过底板键合环键合，空腔结构层与悬臂梁固支边框通过空腔基板键合环键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，悬臂梁固支边框与顶板通过顶板键合环键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用低深宽比的质量块和空腔结构层，总体结构简单、制备工艺简化、制作方便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN110426122A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910692008.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及一种表面声波波束散射检测芯片，包括压电基片，制作于压电基片表面的第一输入叉指换能器、第二输入叉指换能器、第三输入叉指换能器、第四输入叉指换能器、第一输出叉指换能器、第二输出叉指换能器、第一短路反射器、第二短路反射器、第三短路反射器、第四短路反射器、内吸声胶胶膜、第一外吸声胶胶膜、第二外吸声胶胶膜以及第一输入电极、第二输入电极、第一输出电极、第二输出电极和若干个接地电极；本发明通过在输入叉指换能器的一侧设置与之偏轴的短路反射器和输出叉指换能器，构成一个复合谐振器结构，用于检测输入叉指换能器所发射的表面声波波束中因波束偏向、衍射而形成的散射波束。
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公开(公告)号：CN107986226B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201711347091.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 扬州大学
Abstract: 一种动态自平衡结构，属于基于微机电系统（MEMS）的自动控制技术领域，包括上基板，在上基板的顶面设置四个电阻条、四个双端固支悬挂电极和四个上基板顶面接地电极；在上基板的底面设置四个下拉电极上电极、四个分压电阻、环形直流偏置电极和上基板底面环形接地电极，在上基板的底面中央固定连接球形铰链半球形基座，在上基板上设置直流偏置金属通孔和接地金属通孔；在上基板的下方设置下基板，在下基板的顶面设置四个下拉电极下电极、直流偏置输入电极、直流接地电极、下基板顶面环形接地电极和接地电极连接导线，在下基板上固定连接球形铰链球形体。本发明实时感知并调整结构所在平面相对于水平面的偏离，实现结构的动态自平衡。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106771356B
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201710048869.7
申请日：2017-01-23
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明公开一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法，包括压电基片、制作于压电基片上的声表面波谐振器金属指和叠加在声表面波谐振器金属指之上的同形可浮动质量载荷指。当加速度计结构作向上或向下的加速运动时，质量载荷指因惯性产生向下或向上的位移，其与下层声表面波谐振器金属指的接触面积和作用力发生变化，声表面波谐振器金属指的等效质量发生变化，最终声表面波谐振器的谐振频率发生变化，据此可以测量加速度计结构的运动加速度。与现有技术相比，本发明采用复合指结构的声表面波谐振器作为加速度敏感元件，所包含的质量载荷指的结构、材料、加工方法与下层声表面波谐振器金属指相同或相似，结构新颖，工艺兼容性好，制作方便。
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公开(公告)号：CN101388506A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200810122744.5
申请日：2008-06-27
Applicant: 扬州大学
Abstract: 智能通断电的电饭煲插座，涉及电器件技术领域。本发明供电电路连接在交流输入电压的两端，电饭煲工作电流放大与整流电路连接电饭煲工作电流，电饭煲加热和保温状态判断比较电路的输入端连接电饭煲工作电流放大与整流电路的输出端，延时通电、自动断电电路的输入端连接电饭煲加热和保温状态判断比较电路的输出端，电饭煲工作电源通电控制电路连接延时通电、自动断电电路的输出端。本发明能在无人看管的情况下煲饭和自动断电，使用该智能通断电的电饭煲插座在一定程度上能够避免火灾隐患和电器故障发生，也能节约电能。
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公开(公告)号：CN111289772B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010135345.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；底板与空腔结构层通过底板键合环键合，空腔结构层与悬臂梁固支边框通过空腔基板键合环键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，悬臂梁固支边框与顶板通过顶板键合环键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用低深宽比的质量块和空腔结构层，总体结构简单、制备工艺简化、制作方便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN110426122B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201910692008.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及一种表面声波波束散射检测芯片，包括压电基片，制作于压电基片表面的第一输入叉指换能器、第二输入叉指换能器、第三输入叉指换能器、第四输入叉指换能器、第一输出叉指换能器、第二输出叉指换能器、第一短路反射器、第二短路反射器、第三短路反射器、第四短路反射器、内吸声胶胶膜、第一外吸声胶胶膜、第二外吸声胶胶膜以及第一输入电极、第二输入电极、第一输出电极、第二输出电极和若干个接地电极；本发明通过在输入叉指换能器的一侧设置与之偏轴的短路反射器和输出叉指换能器，构成一个复合谐振器结构，用于检测输入叉指换能器所发射的表面声波波束中因波束偏向、衍射而形成的散射波束。
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公开(公告)号：CN107356997B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201710554696.6
申请日：2017-07-10
Applicant: 扬州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开一种多倍频栅条型周期栅阵制备方法，包括如下步骤：(10)基准栅条获取：在基片上通过一次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光，剥离，得到基准组栅条；(20)重复栅条获取：在已得到基准组栅条或者已得到基准组栅条和部分重复组栅条的基片上，通过二次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光、剥离，得到一组重复组栅条；(30)栅条阵列获取：重复步骤(20)重复栅条获取，制备所需组数的重复组栅条，得到多倍频栅条型周期栅阵。本发明的多倍频栅条型周期栅阵制备方法，工艺技术及设备要求低、制造成本低。
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