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公开(公告)号：CN1623718A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410091753.4
申请日：2004-11-25
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G01J1/4257 , B23K26/705
Abstract: 本发明公开了能够监视照射要被加工的物体的激光束振荡器的有效能量和振荡状态而不影响激光束性能的激光束加工机和用于控制激光束加工机的方法。激光束加工机包括：激光束振荡器、激光束传输路径、准直透镜、机加工聚光透镜、沿激光束传输路径设置的至少一个光学检测传感器和算术控制部分，所述算术控制部分用于接收光学检测传感器的输出并进行预定处理以获得激光束的特性。
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