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公开(公告)号：CN204346386U
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201520045712.5
申请日：2015-01-22
Applicant: 安徽理工大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本实用新型提供一种基于反应池内倾角可调的平面镜反射的微悬臂梁传感装置，其包括激光器、显微摄像头、反应池、第一平面镜、第二平面镜、光电位置敏感探测器和数据采集处理设备。观察显微摄像头，激光器发射出的激光束透过反应池上方照射到微悬臂梁尖端上，激光束经微悬臂梁反射后射出的激光束分别经第一平面镜和第二平面镜反射被光电探测器所接收，数据采集处理设备将光电探测器输出的数据进行采集和处理。本实用新型利用在反应池内的倾角可调的平面镜将经微悬臂梁反射后的激光束再次进行反射，实现对微悬臂梁偏转微位移的放大，可应用于食品安全、生命科学、生产制造和科学研究等领域中的监控和检测。
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